公开(公告)号：CN116806412A

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN202180089364.X

申请日：2021-12-24

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山本岳士 ,  浅井圭一郎 ,  藤田直辉

IPC: H03H3/08

Abstract: 本发明提供将弹性波的能量限制于压电层且耐久性优异的复合基板。本发明的实施方式所涉及的复合基板具有压电层和反射层，该反射层配置于所述压电层的背面侧，且包括高阻抗层和包含氧化硅的低阻抗层，在所述压电层的背面侧的端部形成有改性层，所述低阻抗层的密度为2.15g/cm3以上。

公开(公告)号：CN117597626A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202280047493.7

申请日：2022-04-18

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 谷健太郎 ,  近藤顺悟 ,  浅井圭一郎 ,  东原周平 ,  藤田直辉

IPC: G02F1/295

Abstract: 本发明提供扫描角度大、响应快、能够小型化、且能够降低驱动电压的波导元件、光扫描元件以及光调制元件。本发明的实施方式的波导元件具备：光子晶体层，其是在电光晶体基板周期性地形成空穴而成的；线缺陷的光波导，其形成在所述光子晶体层中；第一电极，其设置于电光晶体基板的上部，相对于光而透明；以及第二电极，其设置于电光晶体基板的下部。本发明的实施方式的光扫描元件及光调制元件分别包括上述波导元件。

公开(公告)号：CN118891824A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202380025124.2

申请日：2023-02-28

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山本岳士 ,  藤田直辉 ,  浅井圭一郎

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

Abstract: 本发明提供耐久性优异的复合基板。本发明的实施方式所涉及的复合基板按以下顺序具有：压电层；反射层，其包括含有氧化硅的低阻抗层及高阻抗层；以及支撑基板，所述低阻抗层的密度为2.4g/cm3以下，在所述高阻抗层形成有非晶质区域。