公开(公告)号：CN1586018A

公开(公告)日：2005-02-23

申请号：CN02822353.5

申请日：2002-09-11

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 池田幸司 ,  柴田和义 ,  伊藤智辉 ,  高桥史武

IPC: H01L41/24 ,  H01L41/08

CPC classification number: H01L41/43 ,  H01L41/094 ,  H01L41/314 ,  H01L41/338 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/43 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128

Abstract: 一种压电/电致伸缩器件(10)的制造方法，该压电/电致伸缩器件(10)包括相对的一对薄板部(12a，12b)；支承这些薄板部(12a，12b)的固定部(14)；活动部(22a，22b)，该活动部(22a，22b)位于上述一对薄板部(12a，12b)的前端部分，该制造方法包括下述步骤：对在之后构成上述薄板部(12a，12b)的第1陶瓷坯片(60A，60B)的一个主面，进行至少1次的厚膜形成处理，形成在之后形成活动部(22a，22b)的突起部(72)；将上述第1陶瓷坯片(60A，60B)与在之后构成上述固定部(14)的第2陶瓷坯片(64)叠置，形成陶瓷叠置坯体(50)；对上述陶瓷叠置坯体(50)进行烘焙，使其形成一体，形成陶瓷叠层体(52)；在上述陶瓷叠层体(52)上，形成压电/电致伸缩元件(18a，18b)，对其进行烘焙，然后，切除不需要的部分，制作压电/电致伸缩器件(10)。