-
公开(公告)号:CN1143184A
公开(公告)日:1997-02-19
申请号:CN95115106.1
申请日:1995-08-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01L1/16
Abstract: 检测流体中的固体颗粒的传感器部件包括:检测单元,包括基本由第一陶瓷材料构成的压电膜,涂覆在压电膜的外表面的至少一部分上的第一电极,和涂覆在压电膜的内表面的至少一部分上的第二电极,基本由第二陶瓷材料构成的振动部分,检测单元位于振动部分上,因此第二电极涂覆在振动部分的至少一部分上,以及用于固定振动部分的固定部分,因此振动部分能够振动。检测单元和振动部分中的至少一个与固体颗粒接触,因此压电膜将振动转变成电信号。