公开(公告)号：CN1149718A

公开(公告)日：1997-05-14

申请号：CN95102598.8

申请日：1995-10-27

申请人： 日本钢管株式会社

发明人： 风间彰 ,  大重贵彦 ,  河村努 ,  的场有治

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01B11/30

摘要： 本发明的表面缺陷检查方法是：使偏振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强(I)；根据上述参数(ψ、Δ)和光强(I)，判定缺陷等级和种类。本发明的表面缺陷检测装置包括：使偏振光照射被检查表面，测定上述参数(ψ、Δ)的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强(I)的装置；将上述反射光的ψ、Δ、I的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置。

公开(公告)号：CN1434289A

公开(公告)日：2003-08-06

申请号：CN02124788.9

申请日：1995-10-27

申请人： 日本钢管株式会社

发明人： 风间彰 ,  大重贵彦 ,  河村努 ,  的场有治

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/21 ,  G01B11/30

摘要： 本发明的表面缺陷检查方法是：使偏振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强(I)；根据上述参数(ψ、Δ)和光强(I)，判定缺陷等级和种类。本发明的表面缺陷检测装置包括：使偏振光照射被检查表面，测定上述参数(ψ、Δ)的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强(I)的装置；将上述反射光的ψ、Δ、I的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置。

公开(公告)号：CN1099031C

公开(公告)日：2003-01-15

申请号：CN95102598.8

申请日：1995-10-27

申请人： 日本钢管株式会社

发明人： 风间彰 ,  大重贵彦 ,  河村努 ,  的场有治

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01J4/04 ,  G01B11/30

摘要： 本发明的表面缺陷检查方法是：使偏振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强(I)；根据上述参数(ψ、Δ)和光强(I)，判定缺陷等级和种类。本发明的表面缺陷检测装置包括：使偏振光照射被检查表面，测定上述参数(ψ、Δ)的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强(I)的装置；特上述反射光的ψ、Δ、I的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置。