公开(公告)号：CN108351371B

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201680061723.X

申请日：2016-10-13

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 吉冈哲也 ,  河野贵志 ,  牧瀬茂喜 ,  那须美佳

IPC: G01R1/073 ,  G01R1/067

Abstract: 为了在进行通电检查期间施加有高电流时，通过抑制探针的温度过度升高来降低探针的弹簧性能下降的风险并且改善通电检查的检查精度，根据本发明的探针卡(11)包括具有弹簧性能的探针(3)和保持该探针(3)的探针头(15)，其中探针头(15)具有以能够在轴向(Z)上移动的方式保持探针(3)的引导单元(27)，并且该引导单元(27)设置有中间引导部(57A、57B、57C)作为散热结构(29)，该散热结构(29)吸收探针(3)因通电而产生的热并且使该热流动到探针(3)的外部。

公开(公告)号：CN108351371A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680061723.X

申请日：2016-10-13

Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

Inventor： 吉冈哲也 ,  河野贵志 ,  牧瀬茂喜 ,  那须美佳

IPC: G01R1/073 ,  G01R1/067

CPC classification number: G01R1/067 ,  G01R1/073

Abstract: 为了在进行通电检查期间施加有高电流时，通过抑制探针的温度过度升高来降低探针的弹簧性能下降的风险并且改善通电检查的检查精度，根据本发明的探针卡(11)包括具有弹簧性能的探针(3)和保持该探针(3)的探针头(15)，其中探针头(15)具有以能够在轴向(Z)上移动的方式保持探针(3)的引导单元(27)，并且该引导单元(27)设置有中间引导部(57A、57B、57C)作为散热结构(29)，该散热结构(29)吸收探针(3)因通电而产生的热并且使该热流动到探针(3)的外部。