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公开(公告)号:CN101620190A
公开(公告)日:2010-01-06
申请号:CN200910157228.0
申请日:2009-07-01
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种缺陷检查方法以及缺陷检查装置,防止过度的检查从而提高检查效率。缺陷检查装置检查检查对象物是否存在缺陷并且连续检查多个检查对象物。缺陷检查装置具备:输送单元,连续输送检查对象物;检查部,连续检查由输送单元输送的检查对象物;图像处理部,对由检查部连续检查的检查对象物的图像进行处理而检测缺陷;控制部,在由图像处理部在被连续检查的多个检查对象物中的相同或近似位置上检测出多个相同的缺陷的情况下,将该缺陷判断为不是由检查对象物引起的缺陷而进行排除。缺陷检查方法也同样地在多个检查对象物中的相同或近似位置上检测出多个相同的缺陷的情况下,将该缺陷判断为不是由检查对象物引起的缺陷而进行排除。
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公开(公告)号:CN104102029B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201410129026.6
申请日:2014-04-01
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G02F1/13 , G01N21/94 , G01N21/958
Abstract: 本发明提供能够迅速且准确地确定缺陷地址的紧凑的液晶面板检查装置。检查装置具备:第1偏振片和第2偏振片,其分别配置于工作台上的液晶面板的上方和下方;背光单元,其经由第2偏振片自工作台上的液晶面板的下表面与该下表面成直角照射液晶面板;倾斜照明光源,其自上述下表面的下方倾斜地照射工作台上的液晶面板;探头单元,其对工作台上的液晶面板的像素施加电压,以进行液晶面板的点亮检查;摄像装置,其在选择性地接收到来自背光单元的照射光和来自倾斜照明光源的倾斜照射光中的任一者的状态下经由第1偏振片拍摄液晶面板的上表面;以及反射部件,其以倾斜照射光以适当的入射角向液晶面板入射的方式将倾斜照射光向液晶面板的下表面引导。
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公开(公告)号:CN104102029A
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201410129026.6
申请日:2014-04-01
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G02F1/13 , G01N21/94 , G01N21/958
Abstract: 本发明提供能够迅速且准确地确定缺陷地址的紧凑的液晶面板检查装置。检查装置具备:第1偏振片和第2偏振片,其分别配置于工作台上的液晶面板的上方和下方;背光单元,其经由第2偏振片自工作台上的液晶面板的下表面与该下表面成直角照射液晶面板;倾斜照明光源,其自上述下表面的下方倾斜地照射工作台上的液晶面板;探头单元,其对工作台上的液晶面板的像素施加电压,以进行液晶面板的点亮检查;摄像装置,其在选择性地接收到来自背光单元的照射光和来自倾斜照明光源的倾斜照射光中的任一者的状态下经由第1偏振片拍摄液晶面板的上表面;以及反射部件,其以倾斜照射光以适当的入射角向液晶面板入射的方式将倾斜照射光向液晶面板的下表面引导。
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