紫外线照射装置和紫外线照射方法

    公开(公告)号:CN114173830B

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202080054475.2

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 本发明提供一种即使在组装精度较低的情况下也不会产生流体等被照射对象物的泄漏并且可靠性优异的紫外线照射装置。因此,紫外线照射装置(1)具有形成处理流路(21d)的内筒(21)、使对象物向处理流路(21d)流入的流入部(4)、收纳内筒(21)的外筒(22)、向经过处理流路(21d)的对象物照射紫外光的发光元件(33c)、将设于内筒(21)的外周面与外筒(22)的内周面之间的空间划分为供照射紫外光之前的对象物经过的第一室(26)和供照射紫外光之后的对象物经过的第三室(28)的O型环(24)、以及经由连通孔(65)与第一室(26)连通的第二室(27),第二室(27)和处理流路(21d)经由板(23)连通。

    紫外线照射装置和紫外线照射方法

    公开(公告)号:CN114173830A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202080054475.2

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 本发明提供一种即使在组装精度较低的情况下也不会产生流体等被照射对象物的泄漏并且可靠性优异的紫外线照射装置。因此,紫外线照射装置(1)具有形成处理流路(21d)的内筒(21)、使对象物向处理流路(21d)流入的流入部(4)、收纳内筒(21)的外筒(22)、向经过处理流路(21d)的对象物照射紫外光的发光元件(33c)、将设于内筒(21)的外周面与外筒(22)的内周面之间的空间划分为供照射紫外光之前的对象物经过的第一室(26)和供照射紫外光之后的对象物经过的第三室(28)的O型环(24)、以及经由连通孔(65)与第一室(26)连通的第二室(27),第二室(27)和处理流路(21d)经由板(23)连通。

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