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公开(公告)号：CN101119842A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200680004730.2
申请日：2006-02-16
CPC分类号： H05K9/0096 , B32B17/10018
摘要： 提供了导电性和可见光透射性优良的导电性层叠体，等离子体显示器用电磁波屏蔽膜，以及电磁波屏蔽性优良、透射·反射带宽、且可见光透射率高的等离子体显示器用保护板。其中，使用了导电性层叠体10，该导电性层叠体10具有从该基体11侧开始依次层叠有第1氧化物层12a、金属层12b和第2氧化物层12c的3层结构的导电膜或者重复该3层结构的3×n层结构的导电膜，其中，n为2以上的整数，第1氧化物层12a含有氧化锌和氧化钛或氧化铌，金属层12b是含有银的层，第2氧化物层12c含有氧化锌与氧化铝的混合物等。
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公开(公告)号：CN1281780C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN01815158.2
申请日：2001-09-05
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3491 , C23C14/10 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , H01J37/3402
摘要： 得到一种增大靶材料和支持此靶材料的衬底管的选材可能性、并且制造简单和可再利用的圆筒状靶。将碳毡等缓冲部件52位于内筒为金属制衬底管和外筒为圆筒状靶材料之间，将两者接合形成圆筒状靶。
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公开(公告)号：CN101119842B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200680004730.2
申请日：2006-02-16
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： H05K9/0096 , B32B17/10018
摘要： 提供了导电性和可见光透射性优良的导电性层叠体，等离子体显示器用电磁波屏蔽膜，以及电磁波屏蔽性优良、透射·反射带宽、且可见光透射率高的等离子体显示器用保护板。其中，使用了导电性层叠体10，该导电性层叠体10具有从该基体11侧开始依次层叠有第1氧化物层12a、金属层12b和第2氧化物层12c的3层结构的导电膜或者重复该3层结构的3×n层结构的导电膜，其中，n为2以上的整数，第1氧化物层12a含有氧化锌和氧化钛或氧化铌，金属层12b是含有银的层，第2氧化物层12c含有氧化锌与氧化铝的混合物等。
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公开(公告)号：CN1452668A
公开(公告)日：2003-10-29
申请号：CN01815158.2
申请日：2001-09-05
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3491 , C23C14/10 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , H01J37/3402
摘要： 得到一种增大靶材料和支持此靶材料的衬底管的选材可能性、并且制造简单和可再利用的圆筒状靶。将碳毡等缓冲部件52位于内筒为金属制衬底管和外筒为圆筒状靶材料之间，将两者接合形成圆筒状靶。
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公开(公告)号：CN101066011A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200580040719.7
申请日：2005-10-31
申请人： 旭硝子株式会社
摘要： 本发明为以透射·反射带宽且导电性(电磁波屏蔽性)、可见光透射性和近红外线屏蔽性良好为目的的导电性层积体(10)，所述导电性层积体(10)具有基体(11)和形成于基体(11)上的导电膜(12)，导电膜(12)为自基体(11)侧总计交错层积了(2n+1)层氧化物层(12a)和金属层(12b)的多层结构体，其中，n为1以上的整数，氧化物层(12a)含有氧化锌和折射率在2.3以上的高折射率金属氧化物作为主要成分，金属层(12b)含有银或银合金作为主要成分。
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公开(公告)号：CN101945564A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010293454.4
申请日：2005-10-31
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： H05K9/00
CPC分类号： H05K9/0096 , H01J2211/446
摘要： 本发明提供一种导电性层积体的制造方法，所述的导电性层积体具有基体和形成于基体上的导电膜，在基体表面上通过以下工序形成导电膜：(A)使用氧化钛粉末和氧化锌粉末制造的靶材，通过溅射法形成氧化物层的工序，(B)使用银靶材或银合金靶材，通过溅射法形成金属层的工序，重复前述(A)、(B)的工序计2n次，n为1以上的整数，最后由(A)工序形成氧化物层，从而形成为自基体侧总计交错层积了(2n+1)层氧化物层和金属层的多层结构体的导电膜。
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