公开(公告)号：CN106319473B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201610786190.3

申请日：2016-08-31

申请人： 旭科新能源股份有限公司 ,  湘潭宏大真空技术股份有限公司

发明人： 黄乐 ,  朱家宽 ,  祝海生 ,  黄国兴 ,  高锦龙 ,  刘杰鹏 ,  孙桂红 ,  黄夏 ,  肖旭东

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/54 ,  C23C14/35 ,  C23C14/24 ,  C23C14/20 ,  C23C14/08 ,  C23C14/06 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了CIGS太阳能电池薄膜生产线，包括多个镀膜子线，各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜，每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内，张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内；其中：张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的，张力检测辊用于实时监测薄膜张力，张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度，张力调节辊为非传动辊，薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。本发明提供的CIGS太阳能电池薄膜生产线元素扩散路径短，无中间产物，无元素蒸发，薄膜效率高，特别适合大面积规模工业化生产。