公开(公告)号：CN118130060A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202410573305.5

申请日：2024-05-10

申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司

发明人： 王林梓 ,  王鹏辉 ,  焦宏达 ,  倪旭东

IPC分类号： G01M11/02 ,  G02B27/00 ,  G02B27/10 ,  G02B17/02

摘要： 本发明提供了一种光路干扰消除系统，该方法包括：第一光学元件，第一光学元件包括第一端点以及第二端点；第二光学元件，第二光学元件包括第三端点以及第四端点；其中，第三端点高于第一端点第一预设距离，第四端点高于第二端点第二预设距离，且第一光学元件的出射面与第二光学元件的入射面相向倾斜设置，同时在第一光学元件的出射面与第二光学元件的入射面之间形成第一夹角；当检测光束入射至第一光学元件的内部时，通过第一光学元件对检测光束进行全反射，并反射出具有第二夹角的第一出射光线；通过第二光学元件将第一出射光线反射成第二出射光线，并将第二出射光线按照第四夹角入射至CCD的内部。本发明能够有效的提升检测效率。

公开(公告)号：CN118328894A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410573328.6

申请日：2024-05-10

申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司

发明人： 王林梓 ,  王鹏辉 ,  焦宏达 ,  倪旭东

IPC分类号： G01B11/24

摘要： 本发明提供了一种晶圆翘曲度测量方法及系统，该方法包括：通过偏振分束器将激光器发射出的单束激光划分成至少两束平行激光，并通过第一光学元件将平行激光对应反射至晶圆的表面，其中，平行激光在晶圆的表面形成对应数量的光斑；在平行激光在晶圆的表面形成偶数光斑后，将平行激光依次透过第一光学元件以及第二光学元件，并通过预设反射镜将平行激光对应反射至CCD的视场内；通过平行激光在CCD的视场内形成对应的检测图像，并通过检测图像实时计算出与晶圆对应的翘曲度。本发明能够有效的消除外界因素的干扰，对应提升了测量效率。