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公开(公告)号：CN113003534A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110205710.8
申请日：2021-02-24
Applicant: 昆山微电子技术研究院
Abstract: 本申请公开了一种压力传感器及其制备方法，该方法包括：获得表面沉积有金属层的第一片体；获得表面沉积有金属层的第二片体；第二片体具有凹槽；将金属层对准的第一片体和第二片体置于键合腔室中，并对键合腔室抽真空；向键合腔室中通入还原气体，并在还原气体的气氛下对第一片体和第二片体进行热压键合，得到压力传感器半成品；对压力传感器半成品进行图形化处理和电极制备，得到压力传感器。本申请向键合腔室中通入还原气体，还原气体对金属层表面的氧化物进行还原，有效去除氧化物对键合强度的影响，从而提升键合强度，并提升空腔的气密性；同时还原气体还可以活化金属层的表面，加快金属层之间的键合速度，并降低键合所需的温度。
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公开(公告)号：CN112701953A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011492763.4
申请日：2020-12-16
Applicant: 昆山微电子技术研究院
Abstract: 本申请公开了薄膜发电机及其制作方法，该方法包括在基底的第一表面形成预处理压电层；在预处理压电层与基底相背的表面形成第一电极层，并在摩擦层的第一表面形成第二电极层；将带有预处理压电层和第一电极层的基底置于高压电场环境中进行极化，以使预处理压电层形成压电层；利用粘合剂将摩擦层的第二表面的边缘区域与基底的第二表面的边缘区域进行粘接，以在摩擦层和基底除去边缘区域的区域间形成空腔，得到薄膜发电机；基底的第一表面与基底的第二表面相背，摩擦层的第一表面与摩擦层第二表面相背。本申请中基底的两侧分布有压电层和摩擦层，可同时产生摩擦电流和压电电流，增加输出电流，并且采用高压极化的方式形成压电层，提升压电层结晶度。
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公开(公告)号：CN112582562A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011466040.7
申请日：2020-12-14
Applicant: 昆山微电子技术研究院
IPC: H01L51/50 , H01L41/113
Abstract: 本申请公开了一种电致发光器件，包括由上至下依次层叠的第一电极层、介电层、电致发光层、压电材料层、第二电极层，以及用于实现所述第一电极层和所述第二电极层电连接的连接件。可见，本申请所提供的电致发光器件中除了具有第一电极层、介电层、电致发光层、第二电极层之外，还设置有压电材料层，当电致发光器件受到压力作用时，压电材料层受到压力作用，在压电材料层表面产生电荷，即产生电场，由于第一电极层和第二电极层之间电连接，使得发光层两侧产生电场，电场激发电子碰击发光中心，进而使电致发光器件发光，实现了自供电发光，无需设置外接电源驱动电致发光器件发光，并且不需要实时供电，降低能源消耗。
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公开(公告)号：CN113932836B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202010674385.5
申请日：2020-07-14
Applicant: 昆山微电子技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于驻极体的非接触式空间位置传感装置，驻极体阵列单元包括电极，以及贴合在电极表面的驻极体薄膜，驻极体阵列单元固定于预设的探测空间内；运动单元包括驻极体介质，运动单元与探测空间内可移动物体固定连接；电位信号采集处理单元包括至少两个采集分路，任一电极均通过对应的采集分路与电位信号采集处理单元电连接；高压极化单元用于向驻极体阵列单元发射脉冲电信号以维持驻极体阵列单元的表面电位。利用驻极体薄膜以及其间形成的静电场探测空间中物体的变化，具有响应灵敏，精准度高的特点。驻极体材料成本低廉，使得该探测装置造价低廉，可以广泛应用。同时驻极体阵列单元体积纤薄，可以在一定空间内随意安放，自由度高。
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公开(公告)号：CN112606509B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202011485108.6
申请日：2020-12-16
Applicant: 昆山微电子技术研究院
IPC: B32B27/32 , B32B27/28 , B32B27/08 , B32B33/00 , B32B37/10 , B32B37/06 , B32B37/24 , B32B38/00 , B32B38/16 , G01L1/16 , G01L9/08
Abstract: 本发明提供了一种自极化复合驻极体‑压电薄膜的制备方法，通过精确的温度控制和较强的电场，在薄膜熔化重新结晶阶段施加外电场，诱导β型PVDF晶体的生成；选用高分子驻极体衬底材料，在对PVDF极化的同时对驻极体衬底进行极化，将电荷注入衬底中，驻极体材料会在较长时间内带有电荷，两块衬底之间形成的电场可以实现对PVDF的长期极化，可以修复在使用中退极化的PVDF晶体，同时为PVDF薄膜提供封装方案和机械强度。本发明还提供了一种自极化复合驻极体‑压电薄膜的制备方法及压电薄膜传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114052717A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202010752635.2
申请日：2020-07-30
Applicant: 昆山微电子技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种生物步态特征识别装置，包括控制器和多个生物步态特征识别单元；多个生物步态特征识别单元沿水平方向呈矩阵排列；任一生物步态特征识别单元包括至少一个压阻式压力传感器和至少一个压电式压力传感器；压阻式压力传感器和压电式压力传感器均与控制器电连接；控制器用于通过压阻式压力传感器获取静态压力参数，通过压电式压力传感器获取动态压力参数，从而实现静态压力参数以及动态压力参数的同步采集。结合上述静态压力参数以及动态压力参数可以计算生物步态信息，从而实现生物步态特征识别功能。而压阻式压力传感器和压电式压力传感器的技术较为成熟，成本低廉。
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公开(公告)号：CN112606509A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011485108.6
申请日：2020-12-16
Applicant: 昆山微电子技术研究院
IPC: B32B27/32 , B32B27/28 , B32B27/08 , B32B33/00 , B32B37/10 , B32B37/06 , B32B37/24 , B32B38/00 , B32B38/16 , G01L1/16 , G01L9/08
Abstract: 本发明提供了一种自极化复合驻极体‑压电薄膜的制备方法，通过精确的温度控制和较强的电场，在薄膜熔化重新结晶阶段施加外电场，诱导β型PVDF晶体的生成；选用高分子驻极体衬底材料，在对PVDF极化的同时对驻极体衬底进行极化，将电荷注入衬底中，驻极体材料会在较长时间内带有电荷，两块衬底之间形成的电场可以实现对PVDF的长期极化，可以修复在使用中退极化的PVDF晶体，同时为PVDF薄膜提供封装方案和机械强度。本发明还提供了一种自极化复合驻极体‑压电薄膜的制备方法及压电薄膜传感器。
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公开(公告)号：CN114052717B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202010752635.2
申请日：2020-07-30
Applicant: 昆山微电子技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种生物步态特征识别装置，包括控制器和多个生物步态特征识别单元；多个生物步态特征识别单元沿水平方向呈矩阵排列；任一生物步态特征识别单元包括至少一个压阻式压力传感器和至少一个压电式压力传感器；压阻式压力传感器和压电式压力传感器均与控制器电连接；控制器用于通过压阻式压力传感器获取静态压力参数，通过压电式压力传感器获取动态压力参数，从而实现静态压力参数以及动态压力参数的同步采集。结合上述静态压力参数以及动态压力参数可以计算生物步态信息，从而实现生物步态特征识别功能。而压阻式压力传感器和压电式压力传感器的技术较为成熟，成本低廉。
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公开(公告)号：CN111217323B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201811426680.8
申请日：2018-11-27
Applicant: 昆山微电子技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种晶圆键合方法，先在两个驻极体薄膜表面分别积累两种异性电荷；再将两个驻极体薄膜分别设置在第一待键合晶圆背向第二待键合晶圆一侧表面，以及第二待键合晶圆背向第一待键合晶圆表面；从而在将第一待键合晶圆以及第二待键合晶圆相互键合时，可以使第一待键合晶圆和第二待键合晶圆处于两个驻极体薄膜之间提供的电场中。该电场可以通过例如加快第一待键合晶圆以及第二待键合晶圆之间反应速率等方式来加快键合进程，从而可以有效降低晶圆键合时所需要的温度。
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公开(公告)号：CN113932836A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202010674385.5
申请日：2020-07-14
Applicant: 昆山微电子技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于驻极体的非接触式空间位置传感装置，驻极体阵列单元包括电极，以及贴合在电极表面的驻极体薄膜，驻极体阵列单元固定于预设的探测空间内；运动单元包括驻极体介质，运动单元与探测空间内可移动物体固定连接；电位信号采集处理单元包括至少两个采集分路，任一电极均通过对应的采集分路与电位信号采集处理单元电连接；高压极化单元用于向驻极体阵列单元发射脉冲电信号以维持驻极体阵列单元的表面电位。利用驻极体薄膜以及其间形成的静电场探测空间中物体的变化，具有响应灵敏，精准度高的特点。驻极体材料成本低廉，使得该探测装置造价低廉，可以广泛应用。同时驻极体阵列单元体积纤薄，可以在一定空间内随意安放，自由度高。
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