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公开(公告)号:CN117968857A
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202311262870.1
申请日:2023-09-27
IPC分类号: G01J5/10
摘要: 本发明提供一种集成式微透镜红外探测器及其制作方法,该方法包括:将红外光敏芯片与读出电路通过铟柱倒装互联;在读出电路上表面上未被所述红外光敏芯片覆盖的非光敏区沉积预定材料,形成厚度大于铟柱高度与光敏面厚度之和的支撑层;从上侧同时减薄支撑层和红外光敏芯片的衬底,使得支撑层的上表面和红外光敏芯片的上表面共面;在支撑层的上表面制作与红外光敏芯片上的第一预设对位点对应的第一对位标记;在支撑层上表面涂胶,将微透镜阵列根据自身上预设的第二对位标记和所述支撑层上的第一对位标记进行对位后,粘合在所述支撑层上侧,得到集成式微透镜红外探测器。本发明可以减小现有技术中集成微透镜阵列工艺对探测器光敏芯片的影响。
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公开(公告)号:CN118756262A
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202410745413.6
申请日:2024-06-11
申请人: 昆明物理研究所
摘要: 本发明公开了一种高强度高导热高反射多层复合冷屏的制备方法及冷屏,采用高导热纯铜材料作多层复合冷屏的中间层,高强度镍钴合金材料作多层复合冷屏的边界层;利用双脉冲电铸,通过调控纯铜和镍钴的成分占比配合特殊的表面抛光处理制备出了满足质轻、壁薄、高精度、高强度、高热导、外表面高反射的多层复合材料冷屏。该方法制备的冷屏同时满足了高强度、高导热、外表面高反射的性能要求。
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