平面驱动设备和用于操作平面驱动设备的方法

    公开(公告)号:CN117458820A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202310883359.7

    申请日:2023-07-18

    摘要: 本发明涉及一种平面驱动设备(10),其包括至少一个移动器(16)和驱动台(12),其中,所述移动器具有外壳(40),其中,所述驱动台具有平面驱动表面(14),并且其中,所述移动器可以电磁耦合到驱动表面并且能够以浮动状态平行于驱动表面移动,其中,所述驱动台具有包括用于清洁移动器的外壳的至少一部分的清洁装置(32)的清洁区域(30),其中,所述移动器能够通过驱动表面的电磁驱动被带入清洁区域,其中,所述清洁装置具有至少一个附加的清洁单元(56),所述至少一个附加的清洁单元(56)布置在所述驱动表面上或上方并且用于清洁所述移动器的侧表面(58)和/或顶侧(60)。