公开(公告)号：CN104704912A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201380049589.8

申请日：2013-09-24

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 内田博 ,  仙田和章 ,  吉田睦

IPC: H05B6/70 ,  H05B6/68 ,  H05B6/78

CPC classification number: H05B6/707 ,  H05B6/705 ,  H05B6/78

Abstract: 提供一种微波加热装置，其在用微波加热包含导体(包括金属氧化物等的金属前驱体)和/或半导体的对象物的情况下能够有效防止火花的产生。所述微波加热装置，以电力线的方向与下述方向一致的方式供给微波，并对该微波进行脉冲宽度控制，向图案的形成面供给脉冲状的微波，所述方向是与形成有图案的平面状基板的、图案的形成面实质上平行的方向，所述平面状基板配置于波导管内，所述图案包含导体、金属氧化物或半导体。

公开(公告)号：CN104704912B

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201380049589.8

申请日：2013-09-24

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 内田博 ,  仙田和章 ,  吉田睦

IPC: H05B6/70 ,  H05B6/68 ,  H05B6/78

CPC classification number: H05B6/707 ,  H05B6/705 ,  H05B6/78

Abstract: 提供一种微波加热装置，其在用微波加热包含导体(包括金属氧化物等的金属前驱体)和/或半导体的对象物的情况下能够有效防止火花的产生。所述微波加热装置，以电力线的方向与下述方向一致的方式供给微波，并对该微波进行脉冲宽度控制，向图案的形成面供给脉冲状的微波，所述方向是与形成有图案的平面状基板的、图案的形成面实质上平行的方向，所述平面状基板配置于波导管内，所述图案包含导体、金属氧化物或半导体。