公开(公告)号：CN101960559A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107948.4

申请日：2009-03-06

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 内田博 ,  福島正人 ,  坂田優子

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  G11B5/855

CPC classification number: G11B5/855 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明提供一种UV纳米压印方法，该方法是在基材上形成了包含紫外线固化性树脂的薄膜的工件上，按压在表面形成有图案的模来进行压缩成形，与所述压缩成形同时地或在所述压缩成形之后照射紫外光，将所述图案转印到所述薄膜上，该方法的特征在于，使用具有温度上升抑制单元的紫外光照射装置照射所述紫外光；所述紫外光照射装置的光源使用热射线不会与紫外光同时被连续放射的光源。

公开(公告)号：CN102027415A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200980117003.0

申请日：2009-05-14

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 内田博 ,  福島正人 ,  坂田優子

IPC: G03F7/20 ,  B29C59/02 ,  G11B5/84 ,  H01L21/027 ,  B29L11/00

CPC classification number: G11B5/855 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明提供一种图案形成方法，具有以下第1～第3工序：第1工序，在基材上形成第一紫外线固化性树脂层；第2工序，使第一模具的形成了规定图案的图案形成面与上述第一紫外线固化性树脂层相对，并将上述基材与第一模具压接；第3工序，将使紫外光扩散的部件介于上述紫外线固化性树脂层与紫外光源之间，对通过上述压接而转印了上述第一模具的图案的第一紫外线固化性树脂层照射扩散了的紫外光。