公开(公告)号：CN101981619A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980111091.3

申请日：2009-03-30

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 福岛正人 ,  岡田翼 ,  山崎浩之 ,  今井直行

IPC: G11B5/855 ,  B05C11/08 ,  B05D1/40

CPC classification number: G11B5/855 ,  B05D1/00 ,  B05D1/002

Abstract: 本发明提供一种能够将涂液均匀地涂布在被处理基板的两面上并在被处理基板的两面上形成均匀的涂膜的双面涂布装置。双面涂布装置(1)包括以被处理基板(2)的厚度方向为水平方向的方式保持被处理基板(2)的保持机构(3a)、使被处理基板(2)沿周向旋转的旋转驱动机构、将涂液喷出到被处理基板(2)的一个主面(2a)上的第一涂液用喷嘴(18a)、和将涂液喷出到被处理基板(2)的另一主面(2b)上的第二涂液用喷嘴(18b)。第一涂液用喷嘴(18a)和第二涂液用喷嘴相对于被处理基板(2)的厚度中心面对称配置。提供一种边缘清洗装置，能够正确稳定地仅对基板的外缘部的一定宽度进行清洗，即使应该清洗的外缘部的宽度窄，也能轻易地控制要清洗的外缘部的宽度。