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公开(公告)号:CN112236635A
公开(公告)日:2021-01-15
申请号:CN201980037606.3
申请日:2019-06-26
Applicant: 杜尔系统股份公司
Inventor: 奥利弗·伊格劳尔-安格里克 , K·沃尔 , 迪特马尔·威兰 , J·巴杰西尼 , F·艾森纳彻
Abstract: 为了提供一种用于使相邻的腔之间的流体交换最小化的装置,该装置简单地构造并且能实现两个相邻的腔的高效的流体作用的隔离,本发明提出,该装置优选地包括:喷头装置,借助该喷头装置可以将隔离流体流引入相邻的腔之间的过渡区域中;和可移动的隔板元件,借助该隔板元件可以至少局部地遮盖或封闭将两个相邻的腔彼此连接的连接开口。