导流管安装结构及氧化亚硅生产设备

    公开(公告)号:CN118670132A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202411115564.X

    申请日:2024-08-14

    IPC分类号: F27B14/08 F27B14/10 C01B33/18

    摘要: 本发明涉及一种导流管安装结构及氧化亚硅生产设备。该导流管安装结构包括炉体、调平组件、坩埚以及导流管,调平组件包括坩埚托盘以及多根调平柱,各调平柱底端与炉体螺纹连接,顶端承托坩埚托盘,坩埚设置于坩埚托盘;坩埚侧面沿水平方向贯通开设有导流孔,导流管通过导流孔插入至坩埚内,且导流管外周面与导流孔内壁过渡配合,导流管插入坩埚一端具有环形的导向面,导向面的直径沿远离坩埚的方向逐渐增大至与导流管外周面的直径相等;上述两处结构的协同作用能够保证导流管外周面与导流孔的内壁在安装完成后紧密贴合,从而在降低导流管安装难度的同时,还提高了安装完成后的密封效果,有效避免了加热过程中的因泄漏导致实验失败的问题。

    冷却收集结构及氧化亚硅生产设备

    公开(公告)号:CN118640696A

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202411118812.6

    申请日:2024-08-15

    摘要: 本发明涉及一种冷却收集结构及氧化亚硅生产设备。该冷却收集结构包括水冷桶、外管、内管、回水管以及保温桶,水冷桶向上开口且内部具有循环腔,外管穿过开口至与水冷桶的底壁固定,内管沿外管内部贯穿水冷桶内壁至与循环腔连通,内管内部形成进水通路,内管与外管之间形成出水通路,回水管一端与循环腔顶部连通,另一端与出水通路连通;保温桶设置于水冷桶外侧且与水冷桶外侧面贴合;一方面,保温桶的存在能够防止冷却水直接与收料表面接触,从而避免收料表面过冷的情况发生,另一方面,保温桶的保温作用延长了温度变化的时间,增加了收料表面的热稳定性,减少了温度波动,能够有效减少氧化亚硅分层现象,提高沉积效率。