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公开(公告)号:CN116281869A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310258269.9
申请日:2023-03-17
申请人: 杭州精欣化工有限公司
IPC分类号: C01B15/013
摘要: 本发明一种去除半导体级过氧化氢水溶液中TOC的方法,采用反渗透系统、树脂提纯系统、有机物降解系统及滤芯循环系统相结合的方法进行处理,有机物降解系统设置在反渗透系统和树脂提纯系统之间或者设置在树脂提纯系统之后或者设置在过氧化氢水溶液储槽出口的循环管线上。采用本发明制备方法得到的半导体级过氧化氢水溶液适用于7nm半导体芯片制造过程中的蚀刻和清洗,其有机物含量不高于1ppm、单项金属杂质含量不高于5ppt、单项阴离子杂质含量不高于30ppb,远低于SEMI C30‑0218标准中最高档Grade 5级的要求。此外,本发明的工艺路线简单,不需要使用特殊的装置或材料,设备投资小,能耗小,生产成本较低。
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公开(公告)号:CN114084872A
公开(公告)日:2022-02-25
申请号:CN202111464171.6
申请日:2021-12-03
申请人: 杭州精欣化工有限公司
IPC分类号: C01B15/037
摘要: 本发明公开了一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂及应用,该稳定剂由有机膦酸或其盐与超存水组成的溶液,有机膦酸或其盐为对过氧化氢溶液中的金属离子具有螯合或络合作用的物质。本发明经经过纯化处理的螯合或络合型的有机膦酸(或其盐)溶液为主要成分,只在超净高纯过氧化氢中加入极微量的稳定剂,既不影响过氧化氢的主要作用,又几乎不引入杂质,明显增强了过氧化氢的稳定性,使其使用效果更佳明显。从而使得过氧化氢在电子行业的应用更稳定,使电子产品的成品率、电性能及可靠性都更稳定。而且该稳定剂的制备工艺简单,适合于工业化生产,具有良好的经济效益。
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公开(公告)号:CN208471533U
公开(公告)日:2019-02-05
申请号:CN201821025572.5
申请日:2018-06-30
申请人: 杭州精欣化工有限公司
IPC分类号: C01B15/013
摘要: 本实用新型属于过氧化氢提纯技术领域,具体涉及一种用于过氧化氢提纯的树脂柱,包括柱体、上封头和下封头,所述柱体的上部设置视镜,柱体的下部设置树脂排放口、转动座和卡箍,所述树脂排放口上设置法兰,转动座设置在树脂排放口上端,所述转动座固定连接堵片,所述堵片盖在法兰上;所述上封头上设置泄爆口、过氧化氢进口、再生药剂进口和观察放空口,所述泄爆口配合连接泄爆装置,所述泄爆装置包括第一泄爆管、阀门、第二泄爆管、泄爆膜以及收集槽。本实用新型的树脂柱可以提前发现柱内过氧化氢剧烈分解,避免冲料事故发生。
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公开(公告)号:CN208554228U
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201821025571.0
申请日:2018-06-30
申请人: 杭州精欣化工有限公司
IPC分类号: B01J49/60
摘要: 本实用新型属于过氧化氢提纯技术领域,具体涉及一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置,包括柱体和分别设置在柱体的上下端的上封头和下封头,所述上封头设置再生药剂进口、树脂灌装口、压力表和观察放空口,所述再生药剂进口配合连接再生药剂输送管线组件,所述再生药剂输送管线组件包括酸液输送管线、碱液输送管线、超纯水输送管线、总输送管线和总药剂排净管线。本实用新型装置简单,操作便捷,减少了树脂再生过程中药剂的交叉污染,使得采用该树脂柱再生的树脂提纯的过氧化氢质量能够满足半导体电子行业的需求,并大大提高了过氧化氢提纯的安全性。
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公开(公告)号:CN208554226U
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201821027891.X
申请日:2018-06-30
申请人: 杭州精欣化工有限公司
IPC分类号: B01J47/02 , B01J49/00 , C01B15/013
摘要: 本实用新型属于过氧化氢提纯技术领域,具体涉及一种电子级过氧化氢提纯装置,包括过氧化氢提纯柱、树脂再生柱和树脂输送组件,过氧化氢提纯柱包括提纯柱柱体、提纯柱上封头和提纯柱下封头,提纯柱柱体的下部设置提纯柱树脂排出口,提纯柱上封头设置提纯柱抽气口和提纯柱树脂进口;树脂再生柱包括再生柱柱体、再生柱上封头和再生柱下封头,再生柱柱体的下部设置再生柱树脂排出口,再生柱上封头设置再生柱抽气口和再生柱树脂进口;树脂输送组件包括真空泵、抽真空管线、失效树脂输送管线和再生树脂输送管线。本实用新型装置简单,操作便捷,避免了树脂再生药剂在管线中残留,减小其对过氧化氢提纯质量和安全的影响。
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公开(公告)号:CN208553223U
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201821027892.4
申请日:2018-06-30
申请人: 杭州精欣化工有限公司
IPC分类号: B01D15/10
摘要: 本实用新型属于过氧化氢提纯技术领域,具体涉及一种带泄爆装置的树脂柱,包括柱体和分别设置在柱体的上下端的上封头和下封头,所述上封头上设置泄爆口、过氧化氢进口、药剂进口和观察放空口,所述泄爆口配合连接泄爆装置,所述泄爆装置包括第一泄爆管、阀门、第二泄爆管、泄爆膜以及收集槽。本实用新型设置了泄爆膜,当柱体内发生过氧化氢剧烈分解等异常情况,压力超出泄爆膜承受的极限压力时,泄爆膜破裂,液体经泄爆管流到收集槽,使柱体内的压力快速释放,避免树脂柱损坏甚至炸裂或人员受伤以及环境污染。
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公开(公告)号:CN208561783U
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201821025560.2
申请日:2018-06-30
申请人: 杭州精欣化工有限公司
IPC分类号: C02F1/42 , C02F103/04
摘要: 本实用新型属于废水处理技术领域,具体涉及一种中水回用系统,包括依次配合连接的废水收集模块、废水处理模块和中水储存模块,废水收集模块包括废水源、污水收集池、收集槽和废水输送管线,废水处理模块包括提纯泵和树脂柱组,中水储存模块包括中水储槽、输送泵和去纯水生产装置。本实用新型可以将电导率小于1000μs/cm的废水处理,获得电导率小于120μs/cm的中水,大大减少了污水站的污水处理量,确保了污水达标排放。同时电导率小于120μs/cm的中水符合纯水制备的原水要求,减少了纯水制备时对自来水的使用,大大降低了纯水生产成本。
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公开(公告)号:CN208553646U
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201821045199.X
申请日:2018-06-30
申请人: 杭州精欣化工有限公司
IPC分类号: B01D53/18
摘要: 本实用新型属于过氧化氢提纯技术领域,具体涉及一种药剂储槽的尾气吸收装置,包括喷淋吸收塔、药剂储槽和输送管线,喷淋吸收塔包括填料段和储液段,填料段的上部设置第一填料段气体进出口和填料段水进口,填料段的下部设置第二填料段气体进出口;储液段的上部设置储液段水进口,储液段的下部设置储液段水出口;药剂储槽上设置药剂储槽气体进出口;输送管线包括第一输送管线、第二输送管线。本实用新型装置简单,操作便捷,避免了药剂在配制和储存过程中被污染,确保了药剂储槽内外排气符合环保要求。
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公开(公告)号:CN208553222U
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201821026222.0
申请日:2018-06-30
申请人: 杭州精欣化工有限公司
IPC分类号: B01D15/10
摘要: 本实用新型属于过氧化氢提纯领域,具体涉及一种带树脂快速排放口的树脂柱,包括柱体和分别设置在柱体上下端的上封头和下封头,所述柱体的上部设置视镜,柱体的下部设置树脂排放口、连接座和卡箍,所述树脂排放口上设置法兰,连接座设置在树脂排放口上端,所述连接座固定连接堵片,所述堵片盖在法兰上,所述卡箍包括卡箍上部和卡箍下部,卡箍上部和卡箍下部合拢形成圆形结构并夹住法兰和堵片。本实用新型的树脂柱可以提前发现柱内过氧化氢剧烈分解,避免冲料事故发生;当事故发生时,可以以最快的速度将树脂柱内的树脂排出,给发生事故的树脂柱快速泄压,避免了树脂柱受损、炸裂。
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