公开(公告)号：CN1522312A

公开(公告)日：2004-08-18

申请号：CN03800593.X

申请日：2003-04-02

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 越后纪康 ,  佐谷裕司 ,  奥村英树 ,  立原久明

IPC: C23C14/24

CPC classification number: H01G4/145 ,  B05D1/60 ,  C23C14/12 ,  C23C14/246 ,  H01L51/5256

Abstract: 储存在树脂材料槽内的液状树脂材料，通过使加压槽罐进行升压而经过一次侧供给管被压送到供给槽罐内。在供给槽罐内设置了根据供给槽罐内的树脂材料量而进行位移的活塞，利用活塞的行程来对树脂材料进行定量。被定量的树脂材料经过蒸发侧供给管被输送到加热构件上，被加热蒸发后附着到基板上。把树脂材料临时充填到供给槽罐内，以便对树脂材料进行定量，仅把被充填的树脂材料输送到加热构件上，所以，蒸发量是一定的，其结果，树脂薄膜的厚度稳定。

公开(公告)号：CN1510398A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN200310124712.6

申请日：2003-12-24

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 越后纪康 ,  奥村英树 ,  佐谷裕司

IPC: G01D3/028

CPC classification number: G01N15/0826

Abstract: 在根据本发明的透气性测量方法中，向由测试件分隔的两个空间之一导入具有不同于测量用目标气体的质量数的同位素气体，和检测已透过测试件并且转移到另一个空间的同位素气体，以由此测量目标气体的透气性。