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公开(公告)号:CN107921566B
公开(公告)日:2021-08-13
申请号:CN201680049986.9
申请日:2016-08-24
Applicant: 林德股份公司
Abstract: 一种用于制造工具与该制造工具的头端之间的连接的传感器模块。该模块包括可连接到制造工具的接口,该接口包括:用于接收由制造工具传送到该头端的功率的电源端口、用于接收由制造工具递送到该头端的气体的气体端口,以及可连接到该头端的另一接口,该另一接口包括用于向头端递送功率的另一电源端口、用于将来自第一气体端口的气体递送至头端的另一气体端口。该模块还具有存储器、用于测量传送到头端的功率的传感器、用于测量递送至头端的气体的另一传感器、用于在传感器模块与远程位置之间传送信息的装置、以及电连接到该存储器、传送装置和各传感器的处理器。
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公开(公告)号:CN107921566A
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201680049986.9
申请日:2016-08-24
Applicant: 林德股份公司
CPC classification number: B23K9/0953 , B23K9/095 , B23K9/10 , B23K9/1062
Abstract: 一种用于制造工具与该制造工具的头端之间的连接的传感器模块。该模块包括可连接到制造工具的接口,该接口包括:用于接收由制造工具传送到该头端的功率的电源端口、用于接收由制造工具递送到该头端的气体的气体端口,以及可连接到该头端的另一接口,该另一接口包括用于向头端递送功率的另一电源端口、用于将来自第一气体端口的气体递送至头端的另一气体端口。该模块还具有传感器模块,包括存储器、用于测量传送到头端的功率的传感器、用于测量递送至头端的气体的另一传感器、用于在传感器模块与远程位置之间传送信息的装置、以及电连接到该存储器、传送装置和各传感器的处理器。
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