用于制造工具的传感器模块

    公开(公告)号:CN107921566B

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN201680049986.9

    申请日:2016-08-24

    Abstract: 一种用于制造工具与该制造工具的头端之间的连接的传感器模块。该模块包括可连接到制造工具的接口,该接口包括:用于接收由制造工具传送到该头端的功率的电源端口、用于接收由制造工具递送到该头端的气体的气体端口,以及可连接到该头端的另一接口,该另一接口包括用于向头端递送功率的另一电源端口、用于将来自第一气体端口的气体递送至头端的另一气体端口。该模块还具有存储器、用于测量传送到头端的功率的传感器、用于测量递送至头端的气体的另一传感器、用于在传感器模块与远程位置之间传送信息的装置、以及电连接到该存储器、传送装置和各传感器的处理器。

    用于制造工具的传感器模块

    公开(公告)号:CN107921566A

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201680049986.9

    申请日:2016-08-24

    CPC classification number: B23K9/0953 B23K9/095 B23K9/10 B23K9/1062

    Abstract: 一种用于制造工具与该制造工具的头端之间的连接的传感器模块。该模块包括可连接到制造工具的接口,该接口包括:用于接收由制造工具传送到该头端的功率的电源端口、用于接收由制造工具递送到该头端的气体的气体端口,以及可连接到该头端的另一接口,该另一接口包括用于向头端递送功率的另一电源端口、用于将来自第一气体端口的气体递送至头端的另一气体端口。该模块还具有传感器模块,包括存储器、用于测量传送到头端的功率的传感器、用于测量递送至头端的气体的另一传感器、用于在传感器模块与远程位置之间传送信息的装置、以及电连接到该存储器、传送装置和各传感器的处理器。

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