公开(公告)号：CN107709941B

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201680034686.3

申请日：2016-05-23

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 前田穣

IPC: G01J1/44 ,  G01J1/38 ,  G01J3/51 ,  G01M11/00

Abstract: 光学特性测量装置具备：输入部，关于使用分光传感器的测量输入第1曝光时间以及第1累计次数；计算部，使用所输入的第1曝光时间和第1累计次数来计算使用分光传感器的测量的测量时间(第1测量时间)；以及确定部，以减小第1测量时间与使用二维成像传感器的测量的测量时间(第2测量时间)之差或者消除差的方式确定使用二维成像传感器的测量中的第2曝光时间以及第2累计次数中的至少一方。

公开(公告)号：CN107709941A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680034686.3

申请日：2016-05-23

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 前田穣

IPC: G01J1/44 ,  G01J1/38 ,  G01J3/51 ,  G01M11/00

Abstract: 光学特性测量装置具备：输入部，关于使用分光传感器的测量输入第1曝光时间以及第1累计次数；计算部，使用所输入的第1曝光时间和第1累计次数来计算使用分光传感器的测量的测量时间(第1测量时间)；以及确定部，以减小第1测量时间与使用二维成像传感器的测量的测量时间(第2测量时间)之差或者消除差的方式确定使用二维成像传感器的测量中的第2曝光时间以及第2累计次数中的至少一方。