工件的表面缺陷检测装置及检测方法、工件的表面检查系统以及程序

    公开(公告)号:CN114450711B

    公开(公告)日:2025-04-29

    申请号:CN201980100819.6

    申请日:2019-10-02

    Abstract: 提供能够高精度地稳定地检测小的表面缺陷的工件的表面缺陷检测装置等。在使由照明装置引起的明暗图案相对于作为表面缺陷的检测对象的工件而相对地移动的状态下,取得关于所述工件的被测定部位的多个图像,提取暂定缺陷候补。如果在提取了暂定缺陷候补的多个图像中包括暂定缺陷候补的图像的数量存在预先设定的阈值以上,则将暂定缺陷候补决定为缺陷候补。合成包括所决定的缺陷候补的多个图像来制作合成图像,根据所制作的合成图像来进行缺陷检测。

    表面检查用缺陷样品及其使用方法

    公开(公告)号:CN118706539A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202410323640.X

    申请日:2024-03-21

    Inventor: 吉田龙一

    Abstract: 本发明提供一种表面检查用缺陷样品及其使用方法,提供即使在被检查面不存在缺陷也能够再现与存在缺陷的情形相同的状态的表面检查用缺陷样品,而且提供该缺陷样品的使用方法。是由在表面形成有凸形状和/或凹形状的至少1个疑似缺陷部(11、13)的可挠性基板(10)构成的表面检查用缺陷样品(1)。通过沿着表面检查对象物(100)的被检查面(100a)配置该缺陷样品(1),再现在被检查面(100a)存在缺陷部的状态。

    涂装缺陷的基准样本及其制造方法

    公开(公告)号:CN117677446A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202280051075.5

    申请日:2022-07-08

    Inventor: 吉田龙一

    Abstract: 本发明涉及涂装缺陷的基准样本(1),其中,覆盖在表面形成有凸形状以及/或者凹形状的一个或者多个人工缺陷部(11)(21)的基板(10)(20)的至少人工缺陷部(11)(21)及其周边部,而形成有涂膜层(12)(22)。

    工件的表面缺陷检测装置及检测方法、工件的表面检查系统以及程序

    公开(公告)号:CN114450711A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN201980100819.6

    申请日:2019-10-02

    Abstract: 提供能够高精度地稳定地检测小的表面缺陷的工件的表面缺陷检测装置等。在使由照明装置引起的明暗图案相对于作为表面缺陷的检测对象的工件而相对地移动的状态下,取得关于所述工件的被测定部位的多个图像,提取暂定缺陷候补。如果在提取了暂定缺陷候补的多个图像中包括暂定缺陷候补的图像的数量存在预先设定的阈值以上,则将暂定缺陷候补决定为缺陷候补。合成包括所决定的缺陷候补的多个图像来制作合成图像,根据所制作的合成图像来进行缺陷检测。

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