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公开(公告)号：CN107432067A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201580077851.9
申请日：2015-10-06
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C03C17/002 , C03C2218/34 , G03F7/2008 , H01L51/0018
Abstract: 本发明的课题在于，提供一种能够进行生产率高且尺寸精度高的图案形成的图案形成装置。另外，提供一种使用了该图案形成装置的有机电发光元件的图案形成方法。本发明的图案形成装置包括紫外线发光部、对自所述紫外线发光部发出的紫外线进行反射引导的箱体以及在该箱体的下部被紫外线照射的玻璃掩模，其特征在于，在所述玻璃掩模的上表面的相对的位置具有一对空气流产生部，该一对空气流产生部配置为经过所述玻璃掩模与所述箱体的间隙与所述玻璃掩模平行且向所述玻璃掩模的中央方向吹送空气。
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公开(公告)号：CN105637980B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201480038850.9
申请日：2014-07-10
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C09K11/06 , C09K2211/1011 , C09K2211/1029 , C09K2211/1033 , C09K2211/1044 , C09K2211/1059 , C09K2211/1088 , C09K2211/185 , G02B5/08 , G02B5/22 , G02B5/30 , H01L27/3202 , H01L27/3209 , H01L51/0014 , H01L51/50 , H01L51/5056 , H01L51/5088 , H01L51/5271 , H01L51/5281 , H01L51/5284
Abstract: 本发明的课题为提供形状精度高、且可切换发光图案的有机EL元件的制造方法。本发明的有机EL元件的制造方法的特征在于，其为在支承基板上具有含有一个或多个有机功能层的至少二个发光单元和至少1层中间电极层、中间电极层配置于发光单元间的有机EL元件的制造方法，所述制造方法具有：将各个发光单元中的至少1层有机功能层使用掩模来进行构图的第1构图工序、和通过光照射而构图为发光功能被调制了的区域和没有被调制的区域的第2构图工序，每制作发光单元进行第2构图工序。
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公开(公告)号：CN105637980A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201480038850.9
申请日：2014-07-10
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C09K11/06 , C09K2211/1011 , C09K2211/1029 , C09K2211/1033 , C09K2211/1044 , C09K2211/1059 , C09K2211/1088 , C09K2211/185 , G02B5/08 , G02B5/22 , G02B5/30 , H01L27/3202 , H01L27/3209 , H01L51/0014 , H01L51/50 , H01L51/5056 , H01L51/5088 , H01L51/5271 , H01L51/5281 , H01L51/5284
Abstract: 本发明的课题为提供形状精度高、且可切换发光图案的有机EL元件的制造方法。本发明的有机EL元件的制造方法的特征在于，其为在支承基板上具有含有一个或多个有机功能层的至少二个发光单元和至少1层中间电极层、中间电极层配置于发光单元间的有机EL元件的制造方法，所述制造方法具有：将各个发光单元中的至少1层有机功能层使用掩模来进行构图的第1构图工序、和通过光照射而构图为发光功能被调制了的区域和没有被调制的区域的第2构图工序，每制作发光单元进行第2构图工序。
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