喷嘴板的制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119923321A

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202380067639.9

    申请日:2023-09-15

    Abstract: 本申请的喷嘴板(110)的制造方法包含:第1工序,形成与表面的结晶方位为{100}面的单晶硅基板(B)的第一面(Bb)连通且与[010]方向相比在[100]方向上较长的第一孔(305)、和能够与第一孔(305)和单晶硅基板(B)的第二面(Ba)连通的第二孔(306);以及第2工序,通过利用针对单晶硅基板(B)的各向异性湿式蚀刻将第一孔(305)和第二孔(306)扩大,从而形成喷嘴流路(100),该喷嘴流路具备具有{111}面的喷嘴锥形部(20)、和与喷嘴锥形部(20)相连续的平直连通部(10)。

    喷嘴板、液滴喷出头以及液滴喷出装置

    公开(公告)号:CN120035518A

    公开(公告)日:2025-05-23

    申请号:CN202380067650.5

    申请日:2023-09-15

    Abstract: 喷嘴板(110)具备多个喷嘴流路(111)。喷嘴流路(111)具备:喷嘴锥形部(1112),随着从第一面(Ba)朝向与第一面(Ba)对置的第二面(Bb)而流路面积逐渐扩大;直线连通部(1113),从第二面(Bb)连续地设置,对置的一组面(1113a)大致平行。在第二面(Bb)中,直线连通部(1113)的沿着对置的一组面(1113a)的第一方向的长度比与第一方向正交的第二方向的长度长。喷嘴锥形部(1112)沿着第二方向具备夹着喷嘴开口部(N)在锥形面(1112a)形成台阶的一对台阶面(1112b)。台阶面(1112b)是下垂面或是同与喷嘴中心轴平行的轴所成的角度比锥形面(1112a)小的倾斜面。

Patent Agency Ranking