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公开(公告)号：CN116113807A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202180062100.5
申请日：2021-09-03
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: G01J1/02
Abstract: 具备：导光部件(2)，横剖面为圆形或者多边形；物镜光学系统(3)，将来自被测定物(LS)的光束汇集到导光部件(2)的光入射侧端面(2a)；分支部(4)，具备将从导光部件(2)的光射出侧端面(2b)射出的光束分支为多个而引导的分别由单一的部件构成的多个分支部件(41)；以及多个受光传感器(51)，用于接受来自分支部(4)中的多个分支部件(41)中的每个分支部件的射出光，并且得到2种以上的不同特性的数据。
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