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公开(公告)号:CN115707934B
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202210997391.3
申请日:2022-08-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/347
Abstract: 提供了一种编码器,即使标尺通过绕与接收表面正交的轴线旋转而相对于接收单元以倾斜方式设置,也能抑制精度劣化。编码器1包括标尺2和检测头3。检测头3包括光源(发射单元)4和光接收单元(接收单元)5。光接收单元包括光接收表面50,将在光接收表面50处接收的光转换成具有两个相位的差分检测信号并输出。光接收表面50包括元件阵列组7,其包括沿正交方向以平行方式设置的四个元件阵列71‑74,每个阵列包括多个光接收元件(接收元件)500。元件阵列组7中的多个元件阵列71‑74布置在(i)在正交方向上从参考位置到正相位信号元件阵列71、72的距离和(ii)在正交方向上从参考位置到负相位信号元件阵列73、74的距离之和对于至少两相位的所有相位都相同的位置处。
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公开(公告)号:CN115707934A
公开(公告)日:2023-02-21
申请号:CN202210997391.3
申请日:2022-08-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/347
Abstract: 提供了一种编码器,即使标尺通过绕与接收表面正交的轴线旋转而相对于接收单元以倾斜方式设置,也能抑制精度劣化。编码器1包括标尺2和检测头3。检测头3包括光源(发射单元)4和光接收单元(接收单元)5。光接收单元包括光接收表面50,将在光接收表面50处接收的光转换成具有两个相位的差分检测信号并输出。光接收表面50包括元件阵列组7,其包括沿正交方向以平行方式设置的四个元件阵列71‑74,每个阵列包括多个光接收元件(接收元件)500。元件阵列组7中的多个元件阵列71‑74布置在(i)在正交方向上从参考位置到正相位信号元件阵列71、72的距离和(ii)在正交方向上从参考位置到负相位信号元件阵列73、74的距离之和对于至少两相位的所有相位都相同的位置处。
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