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公开(公告)号：CN114764065A
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202210041147.X
申请日：2022-01-14
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N21/84
Abstract: 本发明公开了图像检测装置和图像检测方法。该图像检测装置具备：包括液体共振式透镜(14)的图像检测光学系统；图像检测部(2)，其通过图像检测光学系统，检测与驱动信号(Cf)的检测相位对应的图像(I)；范围决定部(621)，其基于对焦位置的变动波形所示的相位延迟的正负，将检测相位的允许设定范围决定为驱动信号(Cf)的周期前半段或周期后半段；检测相位设定部(622)，其将检测相位设定在允许设定范围内；以及检测控制部(623)，其将基于图像检测部(2)的图像检测定时控制为从检测相位偏移相当于相位延迟的角度后的定时。
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