公开(公告)号：CN102109339B

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201010588819.6

申请日：2010-12-15

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 山田佳史 ,  太田法道 ,  进藤秀树

IPC: G01B21/30 ,  G01B21/20

CPC classification number: G01B5/28 ,  G01B5/201

Abstract: 本发明涉及一种表面性状测量装置，其包括：构造成使被测量物旋转的旋转驱动装置；粗糙度检测器，包括可位移地设置在检测器本体末端的尖笔、以及设置在检测器本体末端和尖笔附近的至少一个滑行体，并将基于滑行体的尖笔的位移作为电信号输出；和构造成驱动检测器保持器的检测器驱动装置。所述检测器保持器包括引导构件、滑动构件和促动构件，所述引导构件被检测器驱动装置驱动，所述滑动构件构造成保持粗糙度检测器、并设置成能够相对于引导构件沿尖笔的位移方向滑动，而所述促动构件构造成促动滑动构件、以使滑行体总是与被测量物的测量面发生接触。

公开(公告)号：CN102109339A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN201010588819.6

申请日：2010-12-15

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 山田佳史 ,  太田法道 ,  进藤秀树

IPC: G01B21/30 ,  G01B21/20

CPC classification number: G01B5/28 ,  G01B5/201

Abstract: 本发明涉及一种表面性状测量装置，其包括：构造成使被测量物旋转的旋转驱动装置；粗糙度检测器，包括可位移地设置在检测器本体末端的尖笔、以及设置在检测器本体末端和尖笔附近的至少一个滑行体，并将基于滑行体的尖笔的位移作为电信号输出；和构造成驱动检测器保持器的检测器驱动装置。所述检测器保持器包括引导构件、滑动构件和促动构件，所述引导构件被检测器驱动装置驱动，所述滑动构件构造成保持粗糙度检测器、并设置成能够相对于引导构件沿尖笔的位移方向滑动，而所述促动构件构造成促动滑动构件、以使滑行体总是与被测量物的测量面发生接触。