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发明公开
校准夹具审中-公开

公开(公告)号：CN119374519A

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202410940011.1

申请日：2024-07-15

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 田中良昌 , 繁野日雅留 , 贞平雄治

IPC: G01B11/245 , G01B5/00

Abstract: 本发明公开了一种校准夹具(300A)，其用于校准对测量对象W的三维几何形状进行测量的测量设备，该校准夹具(300A)包括：多个待测量元件(331)；框架部(340)，多个待测量元件附接到所述框架部(340)；以及机构部(400)，用于移动框架部，其中，机构部(400)包括：旋转机构(405)，用于使框架部(340)围绕第一轴旋转；第一摆动机构(410)，用于使框架部(340)围绕与第一轴正交的第二轴摆动；以及第二摆动机构(420)，用于使框架部(340)围绕与第一轴和第二轴正交的第三轴摆动。

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