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公开(公告)号：CN112097637B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202010542460.2
申请日：2020-06-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明的一个目的是提供一种能够容易地掌握目标的跟踪状态并执行有效的测量的测量设备。本发明的一个方面是一种测量设备，其向目标发射光束、捕捉并跟踪目标并测量目标的三维坐标。该测量设备包括：用于发射光束的光源；角度控制单元，用于控制从光源发射的光束的发射角度以跟踪移动目标；显示单元，该显示单元设置在能由测量者穿戴的装置上；计算单元，用于基于光束的发射角度和从目标返回的光来计算目标的三维坐标；和显示控制单元，该显示控制单元基于由计算单元计算出的三维坐标来控制在显示单元上显示的信息。显示控制单元执行控制以将光轴图形图像叠置并显示在光束的光轴的位置上。
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公开(公告)号：CN1136430C
公开(公告)日：2004-01-28
申请号：CN98104416.6
申请日：1998-02-10
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G05B19/401 , G01B21/045
Abstract: 本发明揭示一种对被测物体的尺寸及表面状况进行测量的测量方法及测量装置。在采用接触触发式测量头(70)对被测物体的尺寸及表面状况进行测量的测量装置和测量方法中，对从接触触发式测量头(70)产生接触检测信号时的测量头(70)的坐标值及速度进行检测，根据这些坐标值、速度及接触触发式测量头(70)的接触检测延迟时间求得接触时的坐标值。
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公开(公告)号：CN109541892A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811109442.4
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 荻原元德
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种曝光方法以及曝光装置。提供一种能够实现比曝光装置的曝光位置的定位精度高的曝光位置精度的曝光方法。曝光方法包括以下步骤：(1)根据曝光掩模和工件的相对的位置关系来计算工件上的曝光位置；(2)将即使曝光位置偏离工件上的目标曝光位置也容许图案的投影的范围设定为曝光位置范围；(3)执行如下的曝光控制：在所述曝光位置进入所述曝光位置范围的情况下向曝光掩模照射曝光光，在所述曝光位置偏离曝光位置范围的情况下使曝光光停止，其中，使用曝光光的所述曝光控制来将曝光掩模上的图案投影到工件上。
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公开(公告)号：CN1191301A
公开(公告)日：1998-08-26
申请号：CN98104416.6
申请日：1998-02-10
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G05B19/401 , G01B21/045
Abstract: 本发明揭示一种测量方法及测量装置。在采用测量头(接触触发式测量头(70))的测量方法中,对从接触触发式测量头(70)产生接触检测信号时的测量头(70)的坐标值(P1)及速度(V1)进行检测,根据这些坐标值(P1)、速度(V1)及接触触发式测量头(70)的接触检测延迟时间(T1)(从接触至产生接触检测信号为止的时间)求得接触时的坐标值(P0)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109541892B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN201811109442.4
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 荻原元德
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种曝光方法以及曝光装置。提供一种能够实现比曝光装置的曝光位置的定位精度高的曝光位置精度的曝光方法。曝光方法包括以下步骤：(1)根据曝光掩模和工件的相对的位置关系来计算工件上的曝光位置；(2)将即使曝光位置偏离工件上的目标曝光位置也容许图案的投影的范围设定为曝光位置范围；(3)执行如下的曝光控制：在所述曝光位置进入所述曝光位置范围的情况下向曝光掩模照射曝光光，在所述曝光位置偏离曝光位置范围的情况下使曝光光停止，其中，使用曝光光的所述曝光控制来将曝光掩模上的图案投影到工件上。
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公开(公告)号：CN112099041A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010542000.X
申请日：2020-06-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明的一个目的是提供一种当目标的跟踪状态被中断时能够容易地恢复跟踪状态的测量设备。本发明的一个方面是一种测量设备，其向目标发射光束、捕捉并跟踪目标并测量目标的三维坐标。该测量设备包括：用于发射光束的光源；角度控制单元，用于控制从光源发射的光束的发射角度以跟踪移动目标；成像单元，用于捕捉目标或目标的附近；以及识别单元，用于从成像单元捕捉的图像中识别目标或包括目标的特定部分。角度控制单元控制光束的发射角度，以在目标的跟踪被解除时向由识别单元识别出的目标或包括目标的特定部分发射光束。
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公开(公告)号：CN112097637A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010542460.2
申请日：2020-06-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明的一个目的是提供一种能够容易地掌握目标的跟踪状态并执行有效的测量的测量设备。本发明的一个方面是一种测量设备，其向目标发射光束、捕捉并跟踪目标并测量目标的三维坐标。该测量设备包括：用于发射光束的光源；角度控制单元，用于控制从光源发射的光束的发射角度以跟踪移动目标；显示单元，该显示单元设置在能由测量者穿戴的装置上；计算单元，用于基于光束的发射角度和从目标返回的光来计算目标的三维坐标；和显示控制单元，该显示控制单元基于由计算单元计算出的三维坐标来控制在显示单元上显示的信息。显示控制单元执行控制以将光轴图形图像叠置并显示在光束的光轴的位置上。
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公开(公告)号：CN1102739C
公开(公告)日：2003-03-05
申请号：CN97114060.X
申请日：1997-06-25
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 相位控制电路1控制输入正弦信号S1以产生相差90°的第一和第二正弦信号S1和S2。信号发生电路2a和2b平方第一和第二正弦信号以分别产生第一和第二平方的正弦信号S12和S22。平方的正弦信号被信号相加电路3相加以产生相加的输出。相位控制电路1包括90°相移电路11和12。90°相移电路由中心频率设为f0-Δf和f0+Δf以产生第一和第二正弦信号的全通滤波器构成。
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