公开(公告)号：CN1062034A

公开(公告)日：1992-06-17

申请号：CN91110826.2

申请日：1991-10-22

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 角田满 ,  大谷茂

IPC: G01B21/02

CPC classification number: G01D5/12 ,  G01B3/22

Abstract: 一种位移传感器，它支持主刻尺和格栅中的任一方能朝相对于相对移动方向成垂直正交的方向位移。设有加压装置，推压主刻尺和格栅中的任一方接近于另一方。还设有间隙保持装置，使由加压装置推压和一方与另一方的间隙保持在预定的间隔之内。还有间隔容许装置，容许受加压装置作用的一方朝着相对于另一方离开的方向的位移处在预定的位移量范围之内。

公开(公告)号：CN1030794C

公开(公告)日：1996-01-24

申请号：CN91110826.2

申请日：1991-10-22

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 角田满 ,  大谷茂

IPC: G01B7/02

CPC classification number: G01D5/12 ,  G01B3/22

Abstract: 一种位移传感器，它支持主刻尺和格栅中的任一方能朝相对于相对移动方向成垂直正交的方向位移。设有加压装置，推压主刻尺和格栅中的任一方接近于另一方。还设有间隙保持装置，使由加压装置推压和一方与另一方的间隙保持在预定的间隔之内。还有间隔容许装置，容许受加压装置作用的一方朝着相对于另一方离开的方向的位移处在预定的位移量范围之内。