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公开(公告)号：CN118258312A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202311808990.7
申请日：2023-12-26
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： B·G·恩廷克
IPC: G01B11/06 , G02B21/06 , G02B21/00 , G01B11/25 , G01B9/04
Abstract: 本发明公开了结构化照明显微镜检查方法及结构化照明显微镜。在用于确定测试表面的高度图的结构化照明显微镜检查方法中使用结构化照明显微镜。本发明还涉及一种用于确定测试表面的高度图的结构化照明显微镜。所述显微镜包括光源、空间光调制器、扫描装置、光检测器和处理器。
