公开(公告)号：CN106017297A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610158104.4

申请日：2016-03-18

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： E·波士 ,  E·特莱弗斯 ,  日高和彦

IPC: G01B7/16 ,  G01B7/016

CPC classification number: G01B21/04 ,  G01B7/001 ,  G01B7/012 ,  G01B7/18 ,  G01B7/016

Abstract: 一种接触型探测器，其包括触针、传感器和两个平行的大致平板。触针具有触头。传感器具有大致为平坦的形状，并且包括固定部、可动部和各自由平板构成的至少三个薄壁部，其中在该薄壁部上气相沉积有应变传感器，以及触针安装于该可动部，并且该可动部经由薄壁部在至少三个位置处连结至固定部。两个平行的大致平板在相对的两侧连接至固定部，并且以维持可动部和两个平行的大致平板之间的预定距离的方式夹持可动部，并将可动部的移动限制于第一可动范围。传感器由于应变传感器响应于来自触针的测量力发生变形而输出接触信号。

公开(公告)号：CN106017297B

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201610158104.4

申请日：2016-03-18

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： E·波士 ,  E·特莱弗斯 ,  日高和彦

IPC: G01B7/16 ,  G01B7/016

Abstract: 一种接触型探测器，其包括触针、传感器和两个平行的大致平板。触针具有触头。传感器具有大致为平坦的形状，并且包括固定部、可动部和各自由平板构成的至少三个薄壁部，其中在该薄壁部上气相沉积有应变传感器，以及触针安装于该可动部，并且该可动部经由薄壁部在至少三个位置处连结至固定部。两个平行的大致平板在相对的两侧连接至固定部，并且以维持可动部和两个平行的大致平板之间的预定距离的方式夹持可动部，并将可动部的移动限制于第一可动范围。传感器由于应变传感器响应于来自触针的测量力发生变形而输出接触信号。