专利检索 ap:("株式会社东进世美肯") AND inv:"金熹硕" 第 1 页

1.

发明公开
有机膜研磨组合物以及利用其的研磨方法审中-实审

公开(公告)号：CN117321169A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202280035675.2

申请日：2022-06-08

申请人： 株式会社东进世美肯

发明人： 金熹硕 , 李玖和 , 柳在鸿 , 朴钟大 , 金宰贤

IPC分类号： C09K3/14

摘要： 本发明涉及一种有机膜研磨组合物以及利用其的研磨方法，其特征在于：包含将亲水性基团和疏水性基团均包含在内的研磨促进剂，不仅是聚合物(Polymer)、SOC、SOH，还对于通过共价键强键合的有机膜，如，无定形碳膜(ACL)或类金刚石碳(Diamond‑Like Carbon，DLC)，也可以保持高研磨速度。