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公开(公告)号:CN102791384B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201080061385.2
申请日:2010-01-13
Applicant: 株式会社中山非晶体
CPC classification number: C23C4/06 , B05B7/1606 , B05B7/201 , B05B7/205 , B05B7/226 , C23C4/12 , C23C4/129 , C23C4/14
Abstract: 公开了一种用于形成非晶体涂层膜的装置,其中,包含材料粒子的火焰从喷枪朝向基材喷射,通过火焰来熔化材料粒子,在到达基材之前由冷却气体来冷却材料粒子和火焰。在该装置中,在由喷枪喷射火焰的路径中的熔化材料粒子的区域中设有将火焰与外部空气隔离的筒状部件,冷却气体的流通道与该筒状部件一体地形成。该装置具有的优点是,能够以包含高熔点且过冷却温度区域较窄的金属的多种金属来形成非晶体涂层膜,并且从设备上来说是紧凑的,且氧化物的形成较少。