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公开(公告)号：CN104183520A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410036927.0
申请日：2014-01-26
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： B67D7/0266 , B67D7/22 , B67D7/32
摘要： 本发明提供一种材料供给装置，在更换填充容器时，能安全地更换填充容器而不会给使用者带来巨大负担。所述材料供给装置（1）包括：外容器（3），以将内容器（2）与外部空气隔离的方式收纳内容器（2），该内容器（2）收容材料并且具有用于导出所述材料的导出口（20）；连接接头，用于将供给配管（6b）与导出口（20）连接，供给配管（6b）将材料供给到位于外容器（3）的外侧的规定的装置中；以及接头操作机构（5），能从外容器（3）的外侧在维持与外部空气隔离的状态下操作配置在外容器（3）内的连接接头。
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公开(公告)号：CN104183520B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201410036927.0
申请日：2014-01-26
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种材料供给装置，在更换填充容器时，能安全地更换填充容器而不会给使用者带来巨大负担。所述材料供给装置（1）包括：外容器（3），以将内容器（2）与外部空气隔离的方式收纳内容器（2），该内容器（2）收容材料并且具有用于导出所述材料的导出口（20）；连接接头，用于将供给配管（6b）与导出口（20）连接，供给配管（6b）将材料供给到位于外容器（3）的外侧的规定的装置中；以及接头操作机构（5），能从外容器（3）的外侧在维持与外部空气隔离的状态下操作配置在外容器（3）内的连接接头。
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公开(公告)号：CN106959241A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201611241356.X
申请日：2011-07-13
申请人： 株式会社堀场STEC
CPC分类号： H01L21/67109 , B01B1/06 , G01K1/18 , G01N1/44 , B01D1/0017 , B01D1/0082 , B01D1/30
摘要： 本发明提供一种液体试样加热汽化装置，能够提高液体试样的温度控制的响应性和精度，所述液体试样加热汽化装置包括：汽化罐(21)，储存液体试样；一个或多个加热器(22)，设置在汽化罐(21)内，具有与液体试样接触并对其进行加热的加热部(22h)；温度检测部，与所述加热器(22)的包括加热部(22h)的外表面接触设置，检测该外表面的温度；液体温度检测部(24)，配置在所述汽化罐内，用于检测所述液体试样的温度；以及控制部(25)，接受来自所述加热器温度检测部的温度检测信号和来自所述液体温度检测部的温度检测信号，并利用级联控制，对与所述加热器连接的电源进行控制。
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公开(公告)号：CN112899651A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202011371176.X
申请日：2020-11-30
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： C23C16/448 , H01L21/67
摘要： 本发明提供一种液体材料气化装置。具备：容器(1)，在内部贮存有液体材料(M)；加热器(2)，对所述容器(1)内的液体材料(M)进行加热；多个液面检测体(3)，在所述容器(1)内液面检测点(P)分别以设定高度为基准配置在规定的高度范围内；基准检测体(4)，在所述容器(1)内设置在比多个所述液面检测体(3)的规定的高度范围靠上侧的位置；以及液面判定器(5)，根据基于所述基准检测体(4)的电阻的变化而设定的阈值以及多个液面检测体(3)的电阻的变化，判定所述设定高度处的液体材料的有无。
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公开(公告)号：CN102338715A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110195932.2
申请日：2011-07-13
申请人： 株式会社堀场STEC
IPC分类号： G01N1/44
CPC分类号： H01L21/67109 , B01B1/06 , G01K1/18
摘要： 本发明提供一种液体试样加热汽化装置，能够提高液体试样的温度控制的响应性和精度，所述液体试样加热汽化装置包括：汽化罐(21)，储存液体试样；一个或多个加热器(22)，设置在汽化罐(21)内，具有与液体试样接触并对其进行加热的加热部(22h)；温度检测部，与所述加热器(22)的包括加热部(22h)的外表面接触设置，检测该外表面的温度；以及控制部(25)，接受来自温度检测部的温度检测信号，控制向所述加热器(22)供给的电力。
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