公开(公告)号：CN1364338A

公开(公告)日：2002-08-14

申请号：CN01800407.5

申请日：2001-03-02

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 饭塚实 ,  石原宏征 ,  小笠原好清 ,  森显弘 ,  平尾进 ,  村上达也

IPC: H03H9/13

CPC classification number: H03H9/0509 ,  H03H9/0519 ,  H03H9/131

Abstract: 本发明的石英振荡装置包括一个具有两个主表面的石英振荡板,每个主表面上形成有激励电极和从激励电极引出的引导电极,以及在基底上形成的电极极板,石英振荡板和电极极板通过硅酮基导电粘合剂电连接,在激励电极和引导电极中,至少每个引导电极包括一个Cr膜层、一个Au膜层和一个Cr薄膜层或Ag薄膜层,它们以上述顺序叠置在石英振荡板上。另外,每个电极极板包括一个钨或钼制成的金属层、一个Ni膜层和一个Au膜层,它们以上述顺序叠置在基底上;Ni膜层中的Ni至少在涂布硅酮基导电粘合剂的部位扩散入每个电极极板中的Au膜层的预定区域中。

公开(公告)号：CN1168209C

公开(公告)日：2004-09-22

申请号：CN01800407.5

申请日：2001-03-02

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 饭塚实 ,  石原宏征 ,  小笠原好清 ,  森显弘 ,  平尾进 ,  村上达也

IPC: H03H9/13

CPC classification number: H03H9/0509 ,  H03H9/0519 ,  H03H9/131

Abstract: 本发明的石英振荡装置包括一个具有两个主表面的石英振荡板，每个主表面上形成有激励电极和从激励电极引出的引导电极，以及在基底上形成的电极极板，石英振荡板和电极极板通过硅酮基导电粘合剂电连接，在激励电极和引导电极中，至少每个引导电极包括一个Cr膜层、一个Au膜层和一个Cr薄膜层或Ag薄膜层，它们以上述顺序叠置在石英振荡板上。另外，每个电极极板包括一个钨或钼制成的金属层、一个Ni膜层和一个Au膜层，它们以上述顺序叠置在基底上；Ni膜层中的Ni至少在涂布硅酮基导电粘合剂的部位扩散入每个电极极板中的Au膜层的预定区域中。