公开(公告)号：CN113330370A

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN202080010606.7

申请日：2020-02-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 小宫山弘树 ,  八田澄夫 ,  长野智和 ,  寺西瀬名 ,  浅海博圭 ,  高桥大辅 ,  大川智之

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/673

Abstract: 本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在形成有所述图案的区域外支撑所述掩模的支撑部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息。

公开(公告)号：CN118068658A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202410317332.6

申请日：2020-02-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 小宫山弘树 ,  八田澄夫 ,  长野智和 ,  寺西瀬名 ,  浅海博圭 ,  高桥大辅 ,  大川智之

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/673

Abstract: 本发明提供一种掩模配接器、其安装工具、曝光装置以及元件制造方法，可提高曝光装置的曝光精度。本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在形成有所述图案的区域外支撑所述掩模的支撑部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息。

公开(公告)号：CN112859396A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN202110085216.2

申请日：2016-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 八田澄夫 ,  白泽正裕 ,  木南贵之 ,  五十岚淑人

IPC: G02F1/13 ,  G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。

公开(公告)号：CN112859396B

公开(公告)日：2024-01-05

申请号：CN202110085216.2

申请日：2016-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 八田澄夫 ,  白泽正裕 ,  木南贵之 ,  五十岚淑人

IPC: G02F1/13 ,  G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。

公开(公告)号：CN108351597A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680062678.X

申请日：2016-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 八田澄夫 ,  白泽正裕 ,  木南贵之 ,  五十岚淑人

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。

公开(公告)号：CN113330370B

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202080010606.7

申请日：2020-02-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 小宫山弘树 ,  八田澄夫 ,  长野智和 ,  寺西瀬名 ,  浅海博圭 ,  高桥大辅 ,  大川智之

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/673

Abstract: 本发明提供一种掩模配接器、其安装工具、曝光装置以及元件制造方法，可提高曝光装置的曝光精度。本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在形成有所述图案的区域外支撑所述掩模的支撑部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息。

公开(公告)号：CN108351597B

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201680062678.X

申请日：2016-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 八田澄夫 ,  白泽正裕 ,  木南贵之 ,  五十岚淑人

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。