公开(公告)号：CN110546572B

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN201880022803.3

申请日：2018-03-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  冨江瑛彦

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法，可适当地抑制板的定位的精度变差。曝光装置(1)是经由光学系统(13)将照明光(EL)照射至物体(P)，对物体进行扫描曝光，将掩模(M)所具有的规定图案形成于物体上的曝光装置，包括支撑光学系统的支撑装置(14)、以及设置在支撑装置上对物体进行非接触支撑的物体支撑部(152)。

公开(公告)号：CN110546572A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201880022803.3

申请日：2018-03-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  冨江瑛彦

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 曝光装置(1)是经由光学系统(13)将照明光(EL)照射至物体(P)，对物体进行扫描曝光，将掩模(M)所具有的规定图案形成于物体上的曝光装置，包括支撑光学系统的支撑装置(14)、以及设置在支撑装置上对物体进行非接触支撑的物体支撑部(152)。