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公开(公告)号：CN106415396B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201580027187.7
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种光源装置，用于使放电灯发光，放电灯具有在内部设有阳极及阴极的玻璃管和相对于其发光部而分别设在阳极侧及阴极侧的灯座部，光源装置具备：保管放电灯的保管部；能够装拆地支承放电灯的灯座部的支承部件；将电缆能够装拆地连结到支承于支承部件的放电灯的灯座部的夹紧机构；和在基于支承部件对灯座部的支承及基于夹紧机构实现的电缆相对于灯座部的连结被解除的状态下，保持着灯座部地在保管部与支承部件之间搬送放电灯的灯搬送系统。能够高效地进行放电灯的更换。
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公开(公告)号：CN103489746B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310346709.2
申请日：2008-04-03
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H01J5/62 , H01J5/54 , H01J61/523
Abstract: 本发明提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。将电源（32）及送风装置（34）侧的连接器（41）与放电灯（1）的灯头侧连接器（52）利用在电力线缆（33A）内收纳送风用配管（35A）的连结线缆（57）连结。将来自电源（32）的电力经由连结线缆（57）的电力线缆（33A）、灯头侧连接器（52）以及流路折曲构件（51）向灯头部（28）供应，将来自送风装置（28）的冷风经由连结线缆（57）的送风用配管（35A）、灯头侧连接器（52）及流路折曲构件（51）内的送风路向灯头部（28）的槽部（28b）供应。
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公开(公告)号：CN102522316B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201110339001.5
申请日：2008-04-03
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H01J5/62 , H01J5/54 , H01J61/523
Abstract: 本发明提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。将电源(32)及送风装置(34)侧的连接器(41)与放电灯(1)的灯头侧连接器(52)利用在电力线缆(33A)内收纳送风用配管(35A)的连结线缆(57)连结。将来自电源(32)的电力经由连结线缆(57)的电力线缆(33A)、灯头侧连接器(52)以及流路折曲构件(51)向灯头部(28)供应，将来自送风装置(28)的冷风经由连结线缆(57)的送风用配管(35A)、灯头侧连接器(52)及流路折曲构件(51)内的送风路向灯头部(28)的槽部(28b)供应。
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公开(公告)号：CN102518954B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201110306079.7
申请日：2007-08-30
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: F21V19/006 , G03F7/70016 , H01J5/56 , H01J61/523 , H01J61/822
Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。
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公开(公告)号：CN101548132A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200880000911.7
申请日：2008-04-03
Applicant: 株式会社尼康
IPC: F21V29/00 , H01L21/027 , H01J5/50 , F21Y101/00 , H01J61/52
CPC classification number: H01J5/62 , H01J5/54 , H01J61/523
Abstract: 本发明提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。将电源(32)及送风装置(34)侧的连接器(41)与放电灯(1)的灯头侧连接器(52)利用在电力线缆(33A)内收纳送风用配管(35A)的连结线缆(57)连结。将来自电源(32)的电力经由连结线缆(57)的电力线缆(33A)、灯头侧连接器(52)以及流路折曲构件(51)向灯头部(28)供应，将来自送风装置(28)的冷风经由连结线缆(57)的送风用配管(35A)、灯头侧连接器(52)及流路折曲构件(51)内的送风路向灯头部(28)的槽部(28b)供应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106415396A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580027187.7
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H01J5/50 , G03F7/70016 , G03F7/70975 , H01J61/52 , H01J61/86
Abstract: 一种光源装置，用于使放电灯发光，放电灯具有在内部设有阳极及阴极的玻璃管和相对于其发光部而分别设在阳极侧及阴极侧的灯座部，光源装置具备：保管放电灯的保管部；能够装拆地支承放电灯的灯座部的支承部件；将电缆能够装拆地连结到支承于支承部件的放电灯的灯座部的夹紧机构；和在基于支承部件对灯座部的支承及基于夹紧机构实现的电缆相对于灯座部的连结被解除的状态下，保持着灯座部地在保管部与支承部件之间搬送放电灯的灯搬送系统。能够高效地进行放电灯的更换。
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公开(公告)号：CN102446669B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201110339012.3
申请日：2008-04-03
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H01J5/62 , H01J5/54 , H01J61/523
Abstract: 本发明提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。将电源(32)及送风装置(34)侧的连接器(41)与放电灯(1)的灯头侧连接器(52)利用在电力线缆(33A)内收纳送风用配管(35A)的连结线缆(57)连结。将来自电源(32)的电力经由连结线缆(57)的电力线缆(33A)、灯头侧连接器(52)以及流路折曲构件(51)向灯头部(28)供应，将来自送风装置(28)的冷风经由连结线缆(57)的送风用配管(35A)、灯头侧连接器(52)及流路折曲构件(51)内的送风路向灯头部(28)的槽部(28b)供应。
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公开(公告)号：CN101548133B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN200880000918.9
申请日：2008-04-03
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 菊池孝幸
IPC: F21V29/00 , H01J5/50 , H01J61/52 , H01L21/027 , F21Y101/00
CPC classification number: H01J5/54 , F21V29/58 , F21V29/83 , H01J5/62 , H01J61/523
Abstract: 本发明提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。其具备：放电灯，其具有收纳有用于放电的电极的玻璃管(25)和连结于玻璃管(25)的灯头部(28)；连结线缆(72)，连结线缆(72)的环状构件(74A)安装于放电灯的灯头部(28)，并且在环状构件(74A)中形成冷风用的送风路(74Ac)，经由连结线缆(72)的电力线缆(33D)及环状构件(74A)从电源(32)向灯头部(28)供应电力，经由连结线缆(72)的送风用配管(35D)及环状构件(74A)从送风装置(34)向灯头部(28)供应冷风。
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公开(公告)号：CN101512712B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200780032265.8
申请日：2007-08-30
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: F21V19/006 , G03F7/70016 , H01J5/56 , H01J61/523 , H01J61/822
Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。
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公开(公告)号：CN102187280A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200980140868.9
申请日：2009-10-15
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70833
Abstract: 支持曝光装置及附设于其的装置的构成各部的至少一部分的全体机架(50)是由多个单元(52、54、56)构成。另外，各多个单元(52、54、56)支持例如照明系统(IOP)、驱动光罩载台(MST)的线性马达的固定子(71a、72a)、光罩搬送装置(90)。此时，由多个单元(52、54、56)构筑1个全体机架(50)，可使机架全体拥有充分的强度。因此，可容易组装大型的曝光装置。
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