公开(公告)号：CN101052916B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200580029077.0

申请日：2005-07-18

申请人： 株式会社尼康

发明人： 蛯原明光 ,  马丁·E·李 ,  袁宝山

IPC分类号： G03B27/32 ,  G03B27/42 ,  G03B27/52

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70891

摘要： 一种投影光学设备，其包括投影图案的图像的投影光学系统(PL)；具有柔性结构(36A、36B和36C)以支撑该投影光学系统的支撑设备；和具有致动器以定位该投影光学系统的定位设备。投影光学设备能够包括框架(34)，柔性结构的一端附连到该框架。该投影光学系统可通过该支撑设备从该框架悬挂，或者其可由该支撑设备从下方支撑。投影光学设备还能够包括液体供应设备(48)，其利用重力将温度受控的液体供应至该投影光学系统的侧表面，从而使得该温度受控的液体沿着该投影光学系统的侧表面流动。

公开(公告)号：CN101052916A

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：CN200580029077.0

申请日：2005-07-18

申请人： 株式会社尼康

发明人： 蛯原明光 ,  马丁·E·李 ,  袁宝山

IPC分类号： G03B27/32 ,  G03B27/42 ,  G03B27/52

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70891

摘要： 一种投影光学设备，其包括投影图案的图像的投影光学系统(PL)；具有柔性结构(36A、36B和36C)以支撑该投影光学系统的支撑设备；和具有致动器以定位该投影光学系统的定位设备。投影光学设备能够包括框架(34)，柔性结构的一端附连到该框架。该投影光学系统可通过该支撑设备从该框架悬挂，或者其可由该支撑设备从下方支撑。投影光学设备还能够包括液体供应设备(48)，其利用重力将温度受控的液体供应至该投影光学系统的侧表面，从而使得该温度受控的液体沿着该投影光学系统的侧表面流动。