表面处理方法以及表面处理设备

    公开(公告)号:CN100355936C

    公开(公告)日:2007-12-19

    申请号:CN200510004778.0

    申请日:1999-09-29

    CPC分类号: C23C14/505

    摘要: 对一系列制品进行表面处理的方法,在一处理室中对所述制品的表面进行处理。所述制品的支承装置可以由各包括许多隔间的顶笼和底笼构成,所述顶笼和底笼可在长度方向上开闭。所述支承装置可由可在长度方向上开闭折合的板状部件构成,展开时可形成一系列狭部,其长度对应于待处理制品的内径。一种表面处理设备,其包括一个在一处理室中的处理材料源,旋转支承所述制品的支承装置的旋转装置使所述制品绕其自身的轴线、或旋转轴线、或两者旋转的情况下,进行均一的表面处理。

    用于汽相淀积设备中的制品支架

    公开(公告)号:CN1654705A

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN200510004777.6

    申请日:1999-09-29

    IPC分类号: C23C14/50 C23C16/458

    CPC分类号: C23C14/505

    摘要: 对一系列制品进行表面处理的方法,在一处理室中对所述制品的表面进行处理。所述制品的支承装置可以由各包括许多隔间的顶笼和底笼构成,所述底笼和底笼可在长度方向上开闭。所述支承装置可由可在长度方向上开闭折合的板状部件构成,展开时可形成一系列狭部,其长度对应于待处理制品的内径。一种表面处理设备,其包括一个在于处理室中的处理材料源,旋转支承所述制品的支承装置的旋转装置使所述制品绕其自身的轴线、或公共旋转轴线、或两者旋转的情况下,进行均一的表面处理。

    用于气相沉积设备中的制品支架

    公开(公告)号:CN100359042C

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200510004777.6

    申请日:1999-09-29

    IPC分类号: C23C14/50 C23C16/458

    CPC分类号: C23C14/505

    摘要: 对一系列制品进行表面处理的方法,在一处理室中对所述制品的表面进行处理。所述制品的支承装置可以由各包括许多隔间的顶笼和底笼构成,所述底笼和底笼可在长度方向上开闭。所述支承装置可由可在长度方向上开闭折合的板状部件构成,展开时可形成一系列狭部,其长度对应于待处理制品的内径。一种表面处理设备,其包括一个在于处理室中的处理材料源,旋转支承所述制品的支承装置的旋转装置使所述制品绕其自身的轴线、或公共旋转轴线、或两者旋转的情况下,进行均一的表面处理。

    表面处理方法以及表面处理设备

    公开(公告)号:CN1654706A

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN200510004778.0

    申请日:1999-09-29

    CPC分类号: C23C14/505

    摘要: 对一系列制品进行表面处理的方法,在一处理室中对所述制品的表面进行处理。所述制品的支承装置可以由各包括许多隔间的顶笼和底笼构成,所述底笼和底笼可在长度方向上开闭。所述支承装置可由可在长度方向上开闭折合的板状部件构成,展开时可形成一系列狭部,其长度对应于待处理制品的内径。一种表面处理设备,其包括一个在于处理室中的处理材料源,旋转支承所述制品的支承装置的旋转装置使所述制品绕其自身的轴线、或公共旋转轴线、或两者旋转的情况下,进行均一的表面处理。