公开(公告)号：CN103034002B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201210377390.5

申请日：2012-09-27

Applicant: 株式会社日本显示器东

Inventor： 栗田诚

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  G02F1/1333

CPC classification number: G02F1/136286 ,  G02F2001/136263 ,  G02F2001/13629

Abstract: 本发明提供一种液晶显示装置及其制造方法。本发明的课题是防止影像信号线的图案化时影像信号线的断线。影像信号线(107)、漏电极(107)及源电极(107)同层同时地形成。影像信号线(107)等由基层(1071)、AlSi层(1072)及覆盖层(1073)这三层形成。以往在AlSi层(1072)中与覆盖层(1073)的边界形成有蚀刻速率较快的合金，导致在影像信号线(107)等的图案化时发生断线。在本发明中，在影像信号线(107)等的形成时，在通过溅镀而形成了AlSi层(1072)后将TFT暴露在大气中，在AlSi层表面形成了Al氧化层后通过溅镀来形成覆盖层(1073)、由此防止在AlSi层上形成蚀刻速率部分地变快的合金，防止影像信号线等的断线。

公开(公告)号：CN103034002A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201210377390.5

申请日：2012-09-27

Applicant: 株式会社日本显示器东

Inventor： 栗田诚

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  G02F1/1333

CPC classification number: G02F1/136286 ,  G02F2001/136263 ,  G02F2001/13629

Abstract: 本发明提供一种液晶显示装置及其制造方法。本发明的课题是防止影像信号线的图案化时影像信号线的断线。影像信号线(107)、漏电极(107)及源电极(107)同层同时地形成。影像信号线(107)等由基层(1071)、AlSi层(1072)及覆盖层(1073)这三层形成。以往在AlSi层(1072)中与覆盖层(1073)的边界形成有蚀刻速率较快的合金，导致在影像信号线(107)等的图案化时发生断线。在本发明中，在影像信号线(107)等的形成时，在通过溅镀而形成了AlSi层(1072)后将TFT暴露在大气中，在AlSi层表面形成了Al氧化层后通过溅镀来形成覆盖层(1073)、由此防止在AlSi层上形成蚀刻速率部分地变快的合金，防止影像信号线等的断线。