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发明公开
膏剂涂覆头、膏剂涂覆装置以及膏剂涂覆方法失效转让

公开(公告)号：CN102671823A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210070006.7

申请日：2012-03-16

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 渡边健 , 石田茂 , 圆山勇 , 张晓东 , 渡边正贤

IPC: B05C5/02 , B05C11/10

Abstract: 本发明公开了一种膏剂涂覆头、膏剂涂覆装置以及膏剂涂覆方法。本发明所要解决的技术问题是，能够以高精细的图案向大型玻璃基板高精度地涂覆密封材。本发明中，在膏剂涂覆头中，设置大容量的母膏剂收纳筒(23)和小容量的子膏剂收纳筒(24)，在该母膏剂收纳筒(23)收纳大量的膏剂。在子膏剂收纳筒(24)中，在向玻璃基板描绘膏剂图案时，将被收纳在这里的膏剂从喷嘴(22)排出。若子膏剂收纳筒(24)内的膏剂的收纳量变少，则将分隔阀(30)开放，使母膏剂收纳筒(23)和子膏剂收纳筒(24)经膏剂充填流路(27)连通，将母膏剂收纳筒(23)内的膏剂向子膏剂收纳筒(24)补充。

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