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公开(公告)号:CN100587559C
公开(公告)日:2010-02-03
申请号:CN200710103289.X
申请日:2007-05-15
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333 , G02F1/1339
CPC classification number: B32B37/0046 , B32B2309/68 , B32B2457/20 , B32B2457/202 , G02F1/1303 , G02F1/1333 , G02F2001/133354 , Y10T156/10
Abstract: 在以往的粘合装置的构成中,因为是通过将提升销推压到吸附在粘接部件的基板上来进行分离,所以存在脱离时基板翘曲的问题。本发明中,在设置于腔的内侧的上述上工作台上,设置在基板保持面上具有弹性体、真空吸附机构以及净化气体鼓风机构的弹性体板,在可独立于上述上工作台进行上下的粘接销板上具有多个粘接销,在上述上工作台以及弹性体板上设有上述粘接销可移动的贯穿孔,在上述粘接销的前端具有粘接机构。
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公开(公告)号:CN100451775C
公开(公告)日:2009-01-14
申请号:CN200610111076.7
申请日:2006-08-18
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1339
CPC classification number: G02F1/1341 , B29C66/001 , B32B37/0046 , B32B2309/68 , B32B2457/20 , G02F1/1303 , G02F2001/13415 , B29C65/00
Abstract: 为了实现能高速、高精度地在真空中对基板进行粘合的基板粘合装置,由送入粘合前的2块基板的第1室(C1)、对基板进行粘合的第2室(C2)和送出粘合后的基板的第3室构成,能控制上述第1室室内和第3室室内从大气压变成中真空状态,能控制第2室从中真空变成高真空。
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公开(公告)号:CN101075036A
公开(公告)日:2007-11-21
申请号:CN200710103289.X
申请日:2007-05-15
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333 , G02F1/1339
CPC classification number: B32B37/0046 , B32B2309/68 , B32B2457/20 , B32B2457/202 , G02F1/1303 , G02F1/1333 , G02F2001/133354 , Y10T156/10
Abstract: 在以往的粘合装置的构成中,因为是通过将提升销推压到吸附在粘接部件的基板上来进行分离,所以存在脱离时基板翘曲的问题。本发明中,在设置于腔的内侧的上述上工作台上,设置在基板保持面上具有弹性体、真空吸附机构以及净化气体鼓风机构的弹性体板,在可独立于上述上工作台进行上下的粘接销板上具有多个粘接销,在上述上工作台以及弹性体板上设有上述粘接销可移动的贯穿孔,在上述粘接销的前端具有粘接机构。
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公开(公告)号:CN103165747A
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN201210514749.9
申请日:2012-12-04
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 在将多个背面电极型太阳电池单元组装到配线薄片而制造太阳电池模块时,不引起量产性的降低和产品成品率的降低的太阳电池模块的制造方法以及制造装置。该装置具备在使单元(15)的背面电极(15b)朝向外侧的临时固定状态下分别搭载多个单元(15)的多个单元搭载头部(29)、进行使分别搭载于多个单元搭载头部(29)的多个单元(15)对配线薄片(13)结合的动作的多个位置姿态调整部(33)、控制多个位置姿态调整部(33)的结合的动作的统括控制部(39)。多个单元搭载头部(29)在配线薄片(13)的列方向错开地交错状配设。此外,统括控制部(39)进行反转驱动部(31)的控制,以使多个旋转体(27)中在配线薄片(13)的行方向上最近的相邻的旋转体(27)彼此在时间上同步地向相互不同的转动方向反转移动。
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公开(公告)号:CN103165746A
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN201210513712.4
申请日:2012-12-04
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 在将背面电极型太阳电池单元组装于配线薄片而制造太阳电池模块时能够抑制量产性的降低和产品成品率的降低的太阳电池模块的制造方法以及制造装置。其中,统括控制部(39)进行如下控制:用位置姿态调整部(33)调整反转驱动部(31)的位置和姿态中的至少任意一个,使基于由摄像部(37)摄像的电极图案(16)的存在部位的单元侧标识(15m)的标识图像信息的单元(15)的当前位置与基于由摄像部(37)摄像的配线图案(14)的存在部位的配线图案侧标识(13m)的标识图像信息的单元(15)的目标组装位置对准,并且在使配线薄片(13)的配线图案(14)与单元(15)的电极图案(16)的相对位置关系匹配的状态下,用位置姿态调整部(33)对配线薄片(13)组装单元(15)。
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公开(公告)号:CN103165745A
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN201210513296.8
申请日:2012-12-04
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种太阳能电池模块制造装置。在将太阳能电池单元组装到布线薄片来制造太阳能电池模块时,抑制生产性降低。是对从卷绕长带状的布线薄片(13)而成的布线薄片辊(13r)切出的布线薄片(13)组装太阳能电池单元(15)来制造太阳能电池模块半成品(41)的生产线中使用的太阳能电池模块制造装置(11)。太阳能电池模块制造装置(11)具有:单元供给部(21),向对布线薄片(13)组装单元(15)的组装载置台(30)供给单元(15);以及布线薄片供给部(23),向组装载置台(30)供给布线薄片(13)。布线薄片供给部(23)具有用于向成为对组装载置台(30)供给布线薄片(13)的供给据点的供给站(80)补给布线薄片辊(13r)的补给机构(70)。
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公开(公告)号:CN1936678A
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:CN200610111076.7
申请日:2006-08-18
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1339
CPC classification number: G02F1/1341 , B29C66/001 , B32B37/0046 , B32B2309/68 , B32B2457/20 , G02F1/1303 , G02F2001/13415 , B29C65/00
Abstract: 为了实现能高速、高精度地在真空中对基板进行粘合的基板粘合装置,由送入粘合前的2块基板的第1室(C1)、对基板进行粘合的第2室(C2)和送出粘合后的基板的第3室构成,能控制上述第1室室内和第3室室内从大气压变成中真空状态,能控制第2室从中真空变成高真空。
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