公开(公告)号：CN110383414A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201780086263.0

申请日：2017-02-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 佐藤龙树 ,  扬村寿英 ,  野间口恒典

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28

Abstract: 带电粒子束装置具备：带电粒子束源，其放出一次带电粒子束；物镜，其使一次带电粒子束聚焦于试样上；通道电极，其设置于带电粒子束源与物镜的前端之间且由金属部件构成；检测器，其检测从试样放出的二次带电粒子；以及静电场电极，其与通道电极电绝缘，通道电极形成为供一次带电粒子束穿过该通道电极的内侧，静电场电极形成为覆盖通道电极的外周。

公开(公告)号：CN111727488A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN201880088844.2

申请日：2018-02-07

Applicant: 株式会社日立高新技术 ,  日立高新技术加拿大有限公司

Inventor： 佐藤龙树 ,  戴维·霍伊尔

IPC: H01J37/16 ,  H01J1/13

Abstract: 带电粒子束装置(110)具备：镜筒(111)，其具备带电粒子源(112)；试样室(101)，其设置被照射带电粒子束的试样；热释放型电子源(102)，其配置在试样室(101)内，维持为比其内壁低的电位，其中，通过电子源电源(103)的电压施加产生加热电流而从热释放型电子源(102)释放的电子(e-)，进行试样室(101)内的清洁。通过偏置电源(104)向热释放型电子源(102)施加负电压，维持为比试样室(101)的内壁低的电位。施加到热释放型电子源(102)的负电压的大小理想的是30～1000V，优选60～120V左右。

公开(公告)号：CN111727488B

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN201880088844.2

申请日：2018-02-07

Applicant: 株式会社日立高新技术 ,  日立高新技术加拿大有限公司

Inventor： 佐藤龙树 ,  戴维·霍伊尔

IPC: H01J37/16 ,  H01J1/13

Abstract: 带电粒子束装置(110)具备：镜筒(111)，其具备带电粒子源(112)；试样室(101)，其设置被照射带电粒子束的试样；热释放型电子源(102)，其配置在试样室(101)内，维持为比其内壁低的电位，其中，通过电子源电源(103)的电压施加产生加热电流而从热释放型电子源(102)释放的电子(e‑)，进行试样室(101)内的清洁。通过偏置电源(104)向热释放型电子源(102)施加负电压，维持为比试样室(101)的内壁低的电位。施加到热释放型电子源(102)的负电压的大小理想的是30～1000V，优选60～120V左右。