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公开(公告)号：CN105324621A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201480034939.8
申请日：2014-06-04
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 气体供给管(1)包含一端封闭、管壁具备沿长度方向排列的多个贯通孔(3)的外侧管(2)，以及一端与气体供给源相连、并插入至外侧管(2)的内部的内侧管(5)。由气体供给源提供的气体以如下路径流动：通过内侧管(5)，通过形成于外侧管(2)内部的外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙(7)，从外侧管(2)的多个贯通孔(3)释放到周围空间。所提供的气体在流过内侧管的期间、和流过外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙的期间，由传导至气体供给管(1)的周围空间的温度加热或冷却。内侧管(5)包含多个小管(5a)～(5d)的集合体。
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公开(公告)号：CN105324621B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201480034939.8
申请日：2014-06-04
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 气体供给管(1)包含一端封闭、管壁具备沿长度方向排列的多个贯通孔(3)的外侧管(2)，以及一端与气体供给源相连、并插入至外侧管(2)的内部的内侧管(5)。由气体供给源提供的气体以如下路径流动：通过内侧管(5)，通过形成于外侧管(2)内部的外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙(7)，从外侧管(2)的多个贯通孔(3)释放到周围空间。所提供的气体在流过内侧管的期间、和流过外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙的期间，由传导至气体供给管(1)的周围空间的温度加热或冷却。内侧管(5)包含多个小管(5a)～(5d)的集合体。
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公开(公告)号：CN105308405B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201480035092.5
申请日：2014-06-04
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： F28F1/40 , F27B9/20 , F27B9/3005 , F27D2007/023 , F28D7/12 , F28D21/0001 , F28D2021/0056 , F28F13/06
摘要： 气体供给管(1)包含：一端封闭，管壁具备沿长度方向排列的多个贯通孔(3)的外侧管(2)；以及一端与气体供给源相连，并插入至外侧管(2)的内部的内侧管(5)。由气体供给源提供的气体以如下路径流动：通过内侧管(5)，通过形成于外侧管(2)内部的外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙(7)，从外侧管(2)的多个贯通孔(3)释放到周围空间。所提供的气体在流过内侧管的期间、和流过外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙的期间，由传导至气体供给管(1)的周围空间的温度加热或冷却。内侧管(5)具有如下结构(9)：相比具有与内侧管(5)的内容积相同的内容积的圆筒，使与流过内侧管(5)的气体的接触面积变大。
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公开(公告)号：CN105308405A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201480035092.5
申请日：2014-06-04
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： F28F1/40 , F27B9/20 , F27B9/3005 , F27D2007/023 , F28D7/12 , F28D21/0001 , F28D2021/0056 , F28F13/06
摘要： 气体供给管(1)包含：一端封闭，管壁具备沿长度方向排列的多个贯通孔(3)的外侧管(2)；以及一端与气体供给源相连，并插入至外侧管(2)的内部的内侧管(5)。由气体供给源提供的气体以如下路径流动：通过内侧管(5)，通过形成于外侧管(2)内部的外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙(7)，从外侧管(2)的多个贯通孔(3)释放到周围空间。所提供的气体在流过内侧管的期间、和流过外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙的期间，由传导至气体供给管(1)的周围空间的温度加热或冷却。内侧管(5)具有如下结构(9)：相比具有与内侧管(5)的内容积相同的内容积的圆筒，使与流过内侧管(5)的气体的接触面积变大。
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