公开(公告)号：CN107615653B

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201680027017.3

申请日：2016-06-15

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 高井努 ,  田中厚志 ,  甲斐诚二

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

Abstract: 本发明提供一种具有层叠有厚度薄的压电薄膜、低声速膜以及高声速部件的构造的弹性波装置，其中，特性的偏差少。弹性波装置(1)，在低声速膜(3)上设置有压电薄膜(4)，在压电薄膜(4)上设置有IDT电极(5)，压电薄膜(4)由压电单晶构成，并具有作为极化轴方向上的正的面的第一主面(4a)和作为极化轴方向上的负的面的第二主面(4b)，压电薄膜(4)的低声速膜(3)侧的主面为第一主面(4a)，IDT电极(5)侧的主面为第二主面(4b)。

公开(公告)号：CN107615653A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680027017.3

申请日：2016-06-15

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 高井努 ,  田中厚志 ,  甲斐诚二

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

CPC classification number: H03H9/25 ,  H01L41/0477 ,  H03H9/02559 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/0595 ,  H03H9/14544 ,  H03H9/6483

Abstract: 本发明提供一种具有层叠有厚度薄的压电薄膜、低声速膜以及高声速部件的构造的弹性波装置，其中，特性的偏差少。弹性波装置(1)，在低声速膜(3)上设置有压电薄膜(4)，在压电薄膜(4)上设置有IDT电极(5)，压电薄膜(4)由压电单晶构成，并具有作为极化轴方向上的正的面的第一主面(4a)和作为极化轴方向上的负的面的第二主面(4b)，压电薄膜(4)的低声速膜(3)侧的主面为第一主面(4a)，IDT电极(5)侧的主面为第二主面(4b)。