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发明公开
抗蚀剂的剥离液无效

公开(公告)号：CN109074005A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780026501.9

申请日：2017-03-10

Applicant: 株式会社杰希优

Inventor： 庄野浩己 , 新城沙耶加

IPC: G03F7/42

Abstract: 提供一种抗蚀剂的剥离液，其特征为：含有季铵盐、与链烷醇胺和脂肪族胺，利用这种抗蚀剂的剥离液，即使经过长期使用而有碳酸溶解，其性能也难以降低。

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